[发明专利]一种应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法

权利要求书

1.一种应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于，该方法包括：

获取一组干涉图像的数据信息，并对干涉图像的数据信息进行振动检测分析并筛选处理出高质量干涉图组；

通过解相算法处理高质量干涉图组的像素数据，并结合解包裹、Zernike面形拟合，进一步得到高质量干涉图组的的面形信息，完成检测工作。

2.根据权利要求1所述的应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于：具体通过压电陶瓷移相器和光电探测器获取不同移相时刻的干涉图像数据信息。

3.根据权利要求2所述的应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于：所述筛选处理出高质量干涉图组的流程包括：

判断干涉图像是否符合质量要求；

如是，则通过解相算法处理高质量干涉图组的像素数据，然后输出高质量干涉图组的面形信息；

否则，进一步判断振动检测分析次数是否超过设定次数，若是，输出高质量干涉图组的面形信息，否则，返回获取干涉图像数据信息的步骤。

4.根据权利要求3所述的应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于：所述对干涉图像的数据进行振动检测分析的流程包括：

获取一组干涉图像，每N帧为一分组；

由每N帧临近图计算出所有像素点的移相量；

统计出最多的移相量作为当前分组的移相量；

分析所有分组的移相量数值的波动情况；

求得整组干涉图像的移相稳定性和移相准确性；

判断每组干涉图像的移相稳定性和移相准确性是否达标；

如是，则对每个像素点在所有分组对应的移相量累加并取平均值；如否，过滤该组干涉图组；

对每个像素点在所有分组对应的移相量累加并取平均值后，统计出最多的移相量作为整组干涉图像的移相量；

分析移相量直方图宽度，评价整体移相质量；

判断整体移相质量是否达标；

如是，则保存该组干涉图组，得到该组干涉图组的面形图及计算结果；如否，过滤该组干涉图组，显示错误码及未达标原因。

5.根据权利要求4所述的应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于：所述高质量干涉图组是指各干涉图组的移相稳定性、移相准确性、移相质量三项指标均低于预设的阈值。

6.根据权利要求4所述的应用于移相式激光干涉仪的振动检测预处理方法，其特征在于：所述干涉图像的移相稳定性用标准差S_stable表示：

所述干涉图像的移相准确性用标准差S_accuracy表示：

所述整体移相质量用S_quality表示：

其中，是整体移相统计图中最中心的整数值。