[发明专利]一种铜靶材及其制备方法和用途

权利要求书

1.一种铜靶材的制备方法，其特征在于，所述铜靶材中晶粒尺寸≤10μm；

所述铜靶材中晶粒取向为{110}的晶粒占比为50～70％；

所述制备方法包括以下步骤：

(1)对铜铸锭依次进行热锻、第一热处理、冷锻和第二热处理，得到初处理铜铸锭；所述冷锻后铜铸锭的厚度为冷锻前铜铸锭厚度的50～60％；所述第二热处理的温度为200～300℃；

(2)采用两枚步骤(1)所述初处理铜铸锭叠放，依次进行第一静压和第二静压，所述第一静压与第二静压之间包括翻转两枚初处理铜铸锭的接触面并叠放，得到处理后铜铸锭；所述第一静压后初处理铜铸锭的厚度为第一静压前初处理铜铸锭厚度的40～50％；

(3)对步骤(2)所述处理后铜铸锭进行轧制，得到铜靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述铜铸锭包括超高纯铜或铜合金。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述超高纯铜中铜的含量≥99.9999wt％。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述铜合金包括铜铝合金或铜锰合金。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述铜铝合金中铜铝的总含量≥99.9999wt％。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述铜锰合金中铜锰的总含量≥99.9999wt％。

7.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述铜铝合金中铝的含量≤1at％。

8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述铜锰合金中锰的含量≤1at％。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热锻的温度为800～900℃。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热锻后铜铸锭的厚度为热锻前铜铸锭厚度的40～50％。

11.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一热处理的温度为200～300℃。

12.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一热处理的时间为30～60min。

13.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述冷锻的温度为20～30℃。

14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二热处理的时间为30～60min。

15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第二静压后初处理铜铸锭的厚度为第二静压前初处理铜铸锭厚度的40～50％。

16.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述轧制的压量为0.5～1mm/道次。