[发明专利]一种基于位移传感器的旋转台转轴误差测量与校正方法

权利要求书

1.一种基于位移传感器的旋转台转轴误差测量方法，其步骤包括：

1)将标准件固定于旋转台的旋转面上，并设置N个固定不动的位移传感器，用于检测标准件的位置变化；其中转轴端点位置与位移传感器测量值的理想函数关系f为线性函数；所述标准件为半径为R的圆盘；采用5个位移传感器S1～S5对标准件位置进行测量；位移传感器S1～S3以120度为间隔，安装在圆盘底面以r为半径的圆周上，位移传感器S4、S5间隔90度安装在圆盘侧面；圆盘底面距离转轴端点垂直距离为h；函数关系S_i为第i个位移传感器测量得到的第i个位移传感器距离所述圆盘表面的距离，i＝1～5；

2)控制旋转台转动，进行一次转台旋转以进行校准测量，根据测量记录校准时旋转角为θ时的轴端点位置和校准时旋转角为θ时的位移传感器测量值计算得到相同旋转角度时恒定不变的误差部分f(ε_θ)；其中，c_θ为旋转角为θ时的校准参数；

3)再次控制旋转台转动，记录各位移传感器旋转角为θ时的实时测量值然后根据计算得到旋转角为θ时轴端点位置根据确定转轴误差。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位移传感器包括电容传感器、激光干涉位移传感器、百分表。

3.一种基于位移传感器的旋转台转轴校正方法，其特征在于，基于权利要求1所述方法得到的变化值确定转轴误差，然后根据所述转轴误差对旋转台转轴进行校正。