[发明专利]一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法

权利要求书

1.一种具有分段式花纹结构的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；

所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；

所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；

所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构。

2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述第一分段式花纹结构为3段式花纹结构；

优选地，所述第一分段式花纹结构中每1段花纹的宽度为3-5mm；

优选地，所述第一分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹彼此嵌合排列；

优选地，所述第一分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹之间的嵌合深度为0.8-1.2mm。

3.根据权利要求1或2所述的靶材组件，其特征在于，所述第二分段式花纹结构为3段式花纹结构；

优选地，所述第二分段式花纹结构中每1段花纹的平面中垂线与靶材平面之间的夹角为30°-70°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的靶材组件，其特征在于，所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构彼此嵌合排列；

优选地，所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构之间的嵌合深度为0.8-1.2mm；

优选地，所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构的花纹型号分别独立地为60-100TPI；

优选地，所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构的粗糙度分别独立地为10-15μm。

5.一种如权利要求1-4任一项所述靶材组件的滚花方法，其特征在于，所述滚花方法包括以下步骤：

(1)对靶材的端面进行第一分段式滚花；

(2)对靶材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚花；

(3)对靶材的滚花区域进行抛光处理；

其中，步骤(1)所述第一分段式滚花与步骤(2)所述第二分段式滚花分别独立地为至少2段式滚花；且步骤(1)与(2)不分先后顺序。

6.根据权利要求5所述的滚花方法，其特征在于，步骤(1)所述第一分段式滚花与步骤(2)所述第二分段式滚花分别独立地为3段式滚花。

7.根据权利要求5或6所述的滚花方法，其特征在于，步骤(1)所述第一分段式滚花与步骤(2)所述第二分段式滚花在滚花过程中靶材的转速分别独立地为20-25rpm。

8.根据权利要求5-7任一项所述的滚花方法，其特征在于，步骤(1)所述第一分段式滚花与步骤(2)所述第二分段式滚花在滚花过程中滚花轮的压降量分别独立地为0.3-0.4mm。

9.根据权利要求5-8任一项所述的滚花方法，其特征在于，步骤(3)所述抛光处理采用植绒砂纸；

优选地，所述植绒砂纸的规格为500-700#；

优选地，所述抛光处理过程中靶材的转速为300-350rpm。

10.根据权利要求5-9任一项所述的滚花方法，其特征在于，所述滚花方法包括以下步骤：

(1)对靶材的端面进行3段式滚花；滚花过程中靶材的转速为20-25rpm，滚花轮的压降量为0.3-0.4mm；

(2)对靶材的端面与侧面的连接处R角进行3段式滚花；滚花过程中靶材的转速为20-25rpm，滚花轮的压降量为0.3-0.4mm；

(3)采用规格为500-700#的植绒砂纸对靶材的滚花区域进行抛光处理；在抛光过程中靶材的转速为300-350rpm；

其中，步骤(1)与(2)不分先后顺序。