[发明专利]用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置

说明书

本发明公开了一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，包括底座、环形旋转件、内壁清理机构、外壁清理机构和吸尘机构，环形旋转件设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；内壁清理机构包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；外壁清理机构包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；吸尘机构的抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。本发明提供的用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，通过内壁清理机构和外壁清理机构实现对石墨加热器自动清理，不需要操作人员手工清理，提升清理效率。

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉热场是单晶炉中必备部件，加热、保温、热屏、防漏(硅)等均是通过热场来实现的。单晶炉热场在运行一炉完成后，需要对其进行拆炉清理，石墨加热器是单晶炉热场结构中必不可少的组件，拆炉清理时需要清除附着在石墨加热器上的碳化硅、硅蒸汽等杂质。

如公开号为CN203696695U，名称为《一种单晶炉热场清理工作台》，公开日为2014年7月9日的实用新型专利申请，包括支撑底座、位于支撑底座上部的台面、罩于台面上的壳体状封闭室；台面面板上均匀分布着开孔；开孔与抽吸系统连接；台面上中心部位设有旋转托盘。本实用新型使用时，首先打开工作台门，将待清理的石墨件放置于旋转托盘之上，开启工作台抽气真空泵，操作人员坐于工作台之前，打磨待清理石墨件，手动转动旋转托盘，对石墨件进行全方位清理；打磨过程中产生的粉尘杂质等随着抽气气流通过篦子和抽气管路排走；当石墨件清理完毕之后，开启旋转托盘电机，打开压缩空气喷嘴，一边进行吹扫，一边进行排气，自动完成石墨件上粉尘清理的工作。

又如公开号为CN209910416U，名称为《一种锗单晶炉热场清理工作台》，公开日为2020年1月7日的实用新型专利申请，包括密封工作箱组件、加工台组件和手动开箱组件，密封工作箱组件的内部安装加工台组件，加工台组件的底部与手动开箱组件固定连接，加工台组件包括石墨放置台、支撑曲柱、第一吸尘口、底座和第二吸尘口，石墨放置台设置为环形镂空结构，石墨放置台的底部通过支撑曲柱与底座固定连接。本实用新型使用时，将石墨件放在石墨放置台上，电机带动底座转动使得工作人员能够全方位无死角的对石墨件进行加工处理，在加工过程中的粉尘由第一吸尘口和第二吸尘口吸入到中空的密封箱体的箱体板壁内部。

现有技术中，硅单晶炉热场拆清过程中由于涉及十几件外形完全不同，尺寸大小迥异的部件，而且清理时诸多缝隙拐角，因此除了拆卸和安装部分采用了部分半自动吊装设备外，其它还是全部依赖手工进行清理，效率较低，一直为行业痛点。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，以解决现有技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，包括：

底座；

环形旋转件，其设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；

内壁清理机构，其包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；

外壁清理机构，其包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；

吸尘机构，其抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。

上述的高效清理装置，所述底座上设置有筒体，所述筒体的内侧形成容纳腔，所述外壁清理机构位于所述容纳腔内。