[发明专利]坐标测量机、探测系统以及补偿探针元件处的力的方法

权利要求书

1.一种用于补偿探测单元(16)的探针元件处的力的方法，所述探测单元(16)被附接至坐标测量机(1)并且通过所述坐标测量机(1)而沿着具有许多运动点的规定运动路径运动，以接近物体(5)处的测量点，

其中所述探测单元(16)包括致动器(21)，该致动器(21)被布置和设计成能以可变的规定方式关于至少一个致动方向向所述探针元件施加反力，该反力取决于所施加的致动信号，

其特征在于，

●接收关于所述探测单元(16)的预期运动的运动信息，该运动信息提供关于力的信息，该力由于所述探测单元(16)的运动而影响所述探针元件；

●基于所述运动信息推导出用于至少一个具体运动点的力参数，所述力参数是通过基于所述运动信息针对所述至少一个具体运动点计算所述探针元件的至少一个具体预期位移而推导出的；

●基于所推导出的力参数确定用于所述至少一个具体运动点的所述致动信号，该致动信号提供了针对在所述至少一个具体运动点处影响所述探针元件的所述力由所述致动器(21)向所述探针元件施加规定反力，

其中：

●所述运动信息提供了关于在所述探针元件处由于移动所述探测单元(16)引起的预期惯性力的信息，其中所述预期惯性力影响所述探针元件处相对于所述探测单元(16)的具体位移力；

●所述致动信号被确定成使得能由所述致动器(21)施加的合成反力相对应地抵消所述预期惯性力；并且

●所述致动信号被提供给所述致动器(21)，使得所述探针元件处的所述具体位移力被补偿。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

●所述运动信息提供关于在所述探针元件处由于移动所述探测单元(16)引起的动态作用的信息；并且

●基于所述运动信息或所述力参数确定所述致动信号并将所述致动信号提供给所述致动器(21)，使得对所述动态作用进行阻尼。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述力参数是通过如下方式推导出的：

●使用查找表确定所述探针元件的至少一个具体预期位移或确定影响该探针元件的力，所述查找表提供了所述探测单元(16)的预期运动与所引发的力之间的相关性。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，

在所述探测单元到达所述具体运动点之前所述运动信息提供关于所述探测单元的预期运动的信息的情况下，将所述致动信号提供给所述致动器(21)。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，

影响所述探针元件的所引发的力的关于第一方向的第一分量由于通过设定所述致动信号而在致动方向上施加规定反力而得以补偿，所述第一方向至少基本平行于所述致动方向。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，

●推导出关于运动的所述探针元件的加速度值和/或速度值；并且

●基于所述加速度值和/或所述速度值设置所述致动信号。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，

●针对具体运动点，根据所述运动信息连续地实现所述致动信号，使得能向所述探针元件施加关于所述具体运动点的所引发的力的相应反力；并且/或者

●基于所述运动信息设置所述致动信号，使得参照规定设定点，补偿由于移动所述探测单元而引起的所述探针元件的预期位移，其中探针顶端保持在设定点周围的规定公差带内。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，

所述运动信息基于：

●提供测量路径的部分程序，所述探测单元(16)将沿着该测量路径运动；或

●给定运动轨迹；或

●位于所述坐标测量机(1)处的编码单元，该编码单元提供机器部件的运动信息；或

●表示所述坐标测量机(1)和/或所述探测单元(16)的结构设计和机械行为的模型；

并且/或者

所述运动信息提供用于预期运动的运动点的关于位置、运动速度、所出现的加速度、惯性力和/或接触力的信息。