[发明专利]显示面板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110287005.7 申请日: 2021-03-17
公开(公告)号: CN113113452A 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 张明 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 徐世俊
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,其特征在于,包括基板和阵列设置在所述基板上的像素单元,所述像素单元包括第一发光子单元和第二发光子单元;

所述第一发光子单元包括第一发光电极,所述第二发光子单元包括第二发光电极;

所述第一发光电极上设置有电极平坦层,所述第二发光电极设置在所述电极平坦层上。

2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述像素单元还包括:

薄膜晶体管膜层组,设置在所述基板上,所述薄膜晶体管膜层组包括有源层、栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层和第二金属层;

晶体管平坦层,设置在所述第二金属层上;

在所述第一发光子单元中,所述晶体管平坦层对应所述第二金属层开设有第一电极连接通道,所述第一发光电极设置在所述晶体管平坦层上,所述第一发光电极通过所述第一电极连接通道与所述第二金属层电连接。

3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述像素单元还包括:

薄膜晶体管膜层组,设置在所述基板上,所述薄膜晶体管膜层组包括有源层、栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层和第二金属层,在所述第二发光子单元中,所述电极平坦层对应所述第二金属层开设有第二电极连接通道,所述第二发光电极通过所述第二电极连接通道与所述第二金属层电连接;

所述电极平坦层包括第一子平坦层和第二子平坦层;所述第一子平坦层设置在所述第一发光电极上,所述第二子平坦层设置在所述第一子平坦层上;所述第一子平坦层上开设有与所述第二金属层对应的第一过孔,所述第二子平坦层上开设有与所述第一过孔对应的第二过孔;所述第二电极连接通道包括所述第一过孔和所述第二过孔。

4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述第二金属层包括源极和漏极,所述晶体管平坦层包括第三子平坦层和第四子平坦层;

所述第三子平坦层设置在所述第二金属层上,所述第三子平坦层上开设有与所述源极或所述漏极相对应的第三过孔;所述第四子平坦层设置在所述第三子平坦层上,所述第四子平坦层上开设有与所述第三过孔相对应的第四过孔;

所述第一电极连接通道包括所述第三过孔和所述第四过孔,所述第一发光电极通过所述第三过孔和所述第四过孔与所述源极或所述漏极电连接;所述第二电极连接通道还包括所述第三过孔和所述第四过孔,所述第二发光电极通过所述第一过孔、所述第二过孔、所述第三过孔和所述第四过孔与所述源极或所述漏极电连接。

5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,在所述显示面板的厚度方向上,所述第一发光电极与所述第二发光电极之间的距离在1μm至3μm之间。

6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,包括显示区和非显示区,所述显示区包括第一显示区和第二显示区,所述第一显示区的下方设置有摄像头,所述第一显示区上设置有所述像素单元。

7.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述第二显示区上设置有所述像素单元,所述像素单元在所述第一显示区和所述第二显示区上均匀分布。

8.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第二发光电极上设置有第三平坦层,所述像素单元还包括第三发光子单元,所述第三发光子单元包括第三发光电极,所述第三发光电极设置在所述第三平坦层上;

所述第一发光子单元发出的光随视角增大的亮度衰减速度大于所述第二发光子单元发出的光随视角增大的亮度衰减速度,所述第二发光子单元发出的光随视角增大的亮度衰减速度大于所述第三发光子单元发出的光随视角增大的亮度衰减速度。

9.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一发光子单元发出的光为蓝光,所述第二发光子单元发出的光为红光或绿光。

10.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:

B1、提供一基板,在所述基板上设置缓冲层和薄膜晶体管膜层组,所述薄膜晶体管膜层组包括有源层、栅极绝缘层、第一金属层、层间绝缘层和第二金属层;

所述显示面板包括阵列设置在所述基板上的像素单元,所述像素单元包括第一发光子单元和第二发光子单元;

B2、在所述第二金属层上设置第三子平坦层,所述第二金属层包括源极或漏极,对所述第三子平坦层进行图案化工艺形成与所述漏极相对应的第三过孔;在所述第三子平坦层上设置第三辅助电极,所述第三辅助电极通过所述第三过孔与所述漏极连接;

B3、在所述第三辅助电极的上方设置第四子平坦层,对所述第四子平坦层进行图案化制程以形成与所述第三过孔相对应的第四过孔,在所述第四子平坦层上设置第一发光电极和第二辅助电极,所述晶体管平坦层包括所述第三子平坦层和所述第四子平坦层;在所述第一发光子单元中,所述第一发光电极通过第一电极连接通道与所述漏极电连接,所述第一发光电极通道包括所述第三过孔和所述第四过孔;

B4、在所述第一发光电极和所述第二辅助电极上设置第一子平坦层,对所述第一子平坦层进行图案化制程以形成第一过孔和第一通孔,所述第一过孔与所述第二辅助电极相对应,所述第一过孔沿厚度方向贯穿所述第一子平坦层延伸至所述第二辅助电极的表面;所述第一通孔与所述第一发光电极相对应,所述第一通孔沿厚度方向贯穿所述第一子平坦层延伸至所述第一发光电极的表面并裸露出所述第一发光电极;

在所述第二发光子单元中的所述第一子平坦层上设置第一辅助电极,所述第一辅助电极通过所述第一过孔与所述第二辅助电极连接;

B5、在所述第二发光子单元中的所述第一辅助电极上设置第二子平坦层,对所述第二子平坦层进行图案化制程以形成与第二过孔,在对所述第二子平坦层进行图案化制程的过程中沿朝向所述第二子平坦层的方向延展所述第一通孔,所述第二过孔与所述第一过孔相对应,所述第二过孔沿厚度方向贯穿所述第二子平坦层延伸至所述第一辅助电极的表面;

所述电极平坦层包括所述第一子平坦层和所述第二子平坦层;在所述第二子平坦层上设置所述第二发光电极,所述第二发光电极通过第二电极连接通道与所述第二发光子单元中的所述漏极电连接,所述第二电极连接通道包括第一过孔、第二过孔、第三过孔以及第四过孔;

B6、在所述第二发光电极上设置像素定义层,对所述像素定义层进行图案化制程以形成第二通孔,在对所述像素定义层进行图案化制程的过程中沿朝向所述像素定义层的方向延展所述第一通孔,所述第一通孔贯穿所述像素定义层以及所述电极平坦层延伸至所述第一发光电极的表面;所述第二通孔与所述第二发光电极相对应,所述第二通孔贯穿所述像素定义层以裸露出所述第二发光电极。

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