[发明专利]一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110287178.9 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113061852B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铝合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种高纯铝或铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
将铝或铝合金靶材坯料依次进行锻伸、一次热处理、锻造、二次热处理、轧制以及三次热处理，得到高纯铝或铝合金靶材；
所述轧制的道次为3～5次；
所述轧制的压降量随道次递减；
所述轧制的第一道次的压降量为48～52mm；
所述轧制的第二道次的压降量为38～42mm；
所述轧制的第三道次的压降量为8～12mm。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝或铝合金靶材坯料进行锻伸前先进行切断。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述切断后的铝或铝合金靶材坯料呈长方体。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述长方体的尺寸为(245～250mm)×(245～250mm)×(290～295mm)。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锻伸前进行预热。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述预热的温度为140～160℃。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述预热的时间为10～15min。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锻伸后的铝或铝合金靶材坯料的尺寸为(298～302mm)×(298～302mm)×(198～202mm)。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述一次热处理的温度为295～305℃。
10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述一次热处理的时间为58～62min。
11.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锻造前进行预热。
12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述预热的温度为140～160℃。
13.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述预热的时间为10～15min。
14.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锻造后的铝或铝合金靶材坯料的尺寸为(765～770mm)×(188～192mm)×(120～125mm)。
15.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述二次热处理的温度为290～310℃。
16.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述二次热处理的时间为25～40min。
17.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述轧制的第一道次的温度为295～305℃。
18.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述轧制的道次为3次。
19.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述轧制的第四道次的压降量为5～10mm。
20.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述轧制的第五道次的压降量为5～10mm。
21.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述轧制的总压降量为98～102mm。
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