[发明专利]一种非接触式位移测量系统

权利要求书

1.一种非接触式位移测量系统，其特征在于，包括光源模块、解调模块、传感模块，所述解调模块包括A/D转换器（16）、除法器（17）、解调系统（18）；所述光源模块通过发射光纤（1）与传感模块连接，所述传感模块通过接收光纤与光电探测器连接，所述光电探测器的输出端分别通过A/D转换器（16）、除法器（17）与解调系统（18）连接；所述传感模块包括金属壳体（9）、蓝宝石玻璃（8）、光纤束（5）、光纤转换连接头（4）、发射光纤（1）、第一接收光纤（2）、第二接收光纤（3）；所述金属壳体（9）的一端设置有安装槽，所述蓝宝石玻璃（8）设置在安装槽内，且蓝宝石玻璃（8）与安装槽之间构成冷却腔；所述冷却腔的内部安装有光纤束（5），所述发射光纤（1）、第一接收光纤（2）、第二接收光纤（3）的一端分别通过光纤转换连接头（4）汇聚到设置在冷却腔内的光纤束（5）；所述冷却腔内部通过惰性气体冷却。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，所述光源模块包括从前至后依次连接的驱动电路（11）、光源（12）、光隔离器（13）；所述光源（12）通过光隔离器（13）与发射光纤（1）的另一端连接；所述光电探测器包括PD1光电探测器（14）、PD2光电探测器（15），所述第一接收光纤（2）、第二接收光纤（3）的另一端分别与PD1光电探测器（14）、PD2光电探测器（15）连接。

3.根据权利要求2所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，所述发射光纤（1）、第一接收光纤（2）、第二接收光纤（3）分别为单模光纤。

4.根据权利要求1所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，所述发射光纤（1）、第一接收光纤（2）、第二接收光纤（3）在光纤束（5）中的排列方式为半圆型、随机型、同轴型、双束型、双圆型、同轴随机型中的任意一种。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，还包括冷却循环系统（19），所述金属壳体（9）的两侧分别设置有与冷却循环系统（19）的出气口、进气口连接的冷却气体输入通道（6）、冷却气体输出通道（7）；所述冷却气体输入通道（6）、冷却气体输出通道（7）分别与冷却腔连通。

6.根据权利要求1所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，还包括固定压环（10），所述安装槽内部设置有承接座，所述蓝宝石玻璃（8）安装在承接座上，所述固定压环（10）伸入安装槽并压紧蓝宝石玻璃（8）。

7.根据权利要求6所述的一种非接触式位移测量系统，其特征在于，所述固定压环（10）与安装槽螺纹连接。