[发明专利]一种清洗半导体晶片的石英缸

权利要求书

1.一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：包括底座（100），设置在底座（100）上的石英缸体（200），所述石英缸体（200）上部开口，开口处设置有盖板（210），石英缸体（200）的底部设有倾斜板（220），处于倾斜板（220）底端的石英缸体（200）侧壁上设有排液口（230），所述石英缸体（200）的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件（300），所述石英缸体（200）内还设有清洗毛刷（400），所述的底座（100）上设有驱动晶片夹持组件（300）动作的驱动组件（500）； 所述晶片夹持组件（300）包括一侧铰接的上夹持件（310）和下夹持件（320），上夹持件（310）和下夹持件（320）的另一侧可通过锁紧件（330）固定；

所述下夹持件（320）包括两个边侧板（321），设置在两个边侧板（321）之间的主夹紧杆（322）和分设在主夹紧杆（322）两侧的辅助夹紧杆（323），所述主夹紧杆（322）上设有若干对主夹体（3221），所述辅助夹紧杆（323）上设有若干对与主夹体（3221）对应的辅助夹体（3231），所述一边侧板（321）的外侧设有传动杆（340），另一边侧板（321）的外侧设有导杆（350），导杆（350）内部中空；

所述主夹体（3221）间隔固定连接在主夹紧杆（322）上，所述主夹紧杆（322）内部设有导流腔，相邻两个主夹体（3221）之间设有两组背向倾斜的喷洗管（360），所述喷洗管（360）连通至导流腔，所述导流腔通过导杆（350）连通循环组件（600）。

2.根据权利要求1所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述驱动组件（500）包括安装在底座（100）上的驱动电机（510），驱动电机（510）的输出轴（520）与石英缸体（200）转动密封连接并延伸至石英缸体（200）内部，处于石英缸体（200）内的输出轴（520）设有与传动杆（340）连接的连接件（530）。

3.根据权利要求1所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述循环组件（600）包括设置在底座（100）上的循环泵（610），所述循环泵（610）通过第一管道（620）连通至石英缸体（200）内部，所述循环泵（610）通过第二管道（630）转动密封连通导杆（350），导杆（350）与导流腔连通，导杆（350）与石英缸体（200）转动密封连接。

4.根据权利要求2所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述连接件（530）包括滑动连接在输出轴（520）上的滑动传动套（531），所述滑动传动套（531）与传动杆（340）键合。

5.根据权利要求4所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述连接件（530）还包括驱动滑动传动套（531）复位的弹性组件。

6.根据权利要求5所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述弹性组件包括固定在输出轴（520）上的固定块（540），两端分别固定在固定块（540）和滑动传动套（531）之间的弹簧（550）。