[发明专利]柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置

权利要求书

1.一种检查方法，其是柱状蜂窝结构体的检查方法，

所述检查方法的特征在于，

柱状蜂窝结构体具备：外周侧壁；多个第一隔室，该第一隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且第一底面呈开口而在第二底面具有封孔部；以及多个第二隔室，该第二隔室配置于外周侧壁的内周侧，从第一底面延伸至第二底面，且在第一底面具有封孔部而第二底面呈开口，多个第一隔室和多个第二隔室夹着隔壁而交替地相邻配置，

所述检查方法包括以下工序：

向第二底面照射第一光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的反射光的图案进行拍摄，生成反射光的图案的图像数据；

基于所生成的反射光的图案的图像数据，将与外周侧壁相邻的第二隔室及不与外周侧壁相邻的第二隔室各自的位置信息区别开并储存于存储装置中；

向第一底面照射第二光，利用相机，对与第一隔室及第二隔室的各封孔部的配置相对应的来自第二底面的透过光的图案进行拍摄，生成透过光的图案的图像数据；

基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，将与透过光的强度相关的至少一个第一基准和该透过光的强度进行比较，由此检测具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第一基准用于识别具有异常的封孔部的与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的或基于该测定的结果而确定的；以及

基于所生成的透过光的图案的图像数据及储存在存储装置中的所述位置信息，对来自不与外周侧壁相邻的第二隔室的各透过光的强度进行测定，同与透过光的强度相关的至少一个第二基准进行比较，由此检测具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，所述至少一个第二基准用于识别具有异常的封孔部的不与外周侧壁相邻的第二隔室，是预先设定的或基于该测定的结果而确定的。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

第一基准包括：用于识别具有异常的封孔部且与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第一基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第一基准这两者，

第二基准包括：用于识别具有异常的封孔部且不与外周侧壁相邻的第二隔室的预先设定的与透过光的强度相关的第二基准、以及基于所述测定的结果而确定的与透过光的强度相关的第二基准这两者。

3.根据权利要求1或2所述的检查方法，其特征在于，

使第一光及第二光为波长不同的光，利用相机，对所述反射光的图案及所述透过光的图案同时进行拍摄。