[发明专利]一种光罩盒传送系统及生产流水线

说明书

本发明公开了一种光罩盒传送系统及生产流水线，光罩盒传送系统包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；开盖机构能够打开光罩盒，翻转机构可翻转安装在机械手上，且翻转机构与夹爪连接，夹爪能够夹取光罩盒或者光罩盒内的光罩；机械手带动夹爪抓取上一工位机台载出端口的光罩盒到下一工位机台载入端口处。本发明通过光罩盒传送系统的设置代替了人工搬运光罩盒到各个机台，减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现了自动化传送光罩。此外，通过开盖机构打开光罩盒，并通过翻转机构带动光罩翻转翻面，进一步减少了各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，进一步提高了光罩自动化传送。

技术领域

本发明涉及传送设备技术领域，更具体地说，涉及一种光罩盒传送系统及生产流水线。

背景技术

光罩厂中，光罩的制程工艺往往是在各工艺站点由单机运行，因此，各工艺站点之间的光罩传送是由人工步行方式传送，且当前一站到后一站的工艺，要求的光罩摆放朝向不同向时，必须由人工额外费时的以工具开盒、手动翻面、闭盒，再行载入机台，光罩翻面无法自动化，费时费力。

综上所述，如何减少各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现自动化传送光罩是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的第一个目的在于提供一种光罩盒传送系统，能够减少各工艺站点之间光罩传送所需人力及时间，实现自动化传送光罩。

本发明的第二个目的是提供一种生产流水线。

为了达到上述第一个目的，本发明提供如下技术方案：

一种光罩盒传送系统，包括分别设置在相邻工位机台之间的机械手；

所述机械手上分别设置有夹爪、开盖机构和翻转机构；

所述开盖机构能够打开所述光罩盒，所述翻转机构可翻转安装在所述机械手上，且所述翻转机构与所述夹爪连接，所述夹爪能够夹取所述光罩盒或者所述光罩盒内的光罩；

所述机械手带动所述夹爪抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒传送系统还包括光罩盒盛放装置；

所述光罩盒盛放装置设置在相邻工位机台之间，用于盛放所述机械手放置的所述光罩盒。

在另一个具体实施方案中，所述机械手的个数为2个；

一个所述机械手设置在上一个所述工位机台载出端口与所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取上一所述工位机台载出端口的光罩盒到所述光罩盒盛放装置上；另一个所述机械手设置在所述下一个所述工位机台载入端口和所述光罩盒盛放装置之间，用于抓取所述光罩盒盛放装置上的光罩盒到下一所述工位机台载入端口处。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒传送系统还包括搬运装置；

所述光罩盒盛放装置安装在所述搬运装置上，且所述搬运装置能够带动所述光罩盒盛放装置移动。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒盛放装置为输送带；

所述输送带上平铺有多个存储所述光罩盒的存放格。

在另一个具体实施方案中，所述机械手的个数为1个；

所述光罩盒传送系统还包括输送装置，所述机械手和所述光罩盛放装置均安装在所述输送装置上。

在另一个具体实施方案中，所述输送装置为无人搬运车或者轨道天车。

在另一个具体实施方案中，所述光罩盒盛放装置为旋转塔，

所述旋转塔的塔身周向设置有多个存储所述光罩盒的存放格；