[发明专利]一种改进的ALD方法沉积CeO2

权利要求书

1.一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，包括以下步骤：

(1)在手套箱的惰性气体氛围下取出一定量二氧化铈前驱体四(四甲基庚二酮)铈与Pd/Al₂O₃催化剂混合放入聚四氟乙烯内衬中；

(2)将步骤(1)中混合好的处于密封状态的催化剂放置于180℃的烘箱中，反应15min；

(3)将步骤(2)中反应后的催化剂倒入瓷舟中，然后放入马弗炉焙烧；

(4)以上三个步骤为一个循环，即步骤(1)的催化剂与二氧化铈前驱体的混合-步骤(3)的马弗炉焙烧煅烧为一个循环，根据实验需求重复循环数来重复以上步骤获得不同厚度的CeO₂。

2.按照权利要求1所述的一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，上述步骤(1)中称取的二氧化铈前驱体质量为5.6mg-11.2mg，称取的Pd/Al₂O₃为1g，所用的聚四氟乙烯内衬为100mL容积。

3.按照权利要求1所述的一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，上述步骤(2)中烘箱加热的条件为：以5℃/min的速率从室温升至180℃，保温15min。

4.按照权利要求1所述的一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，上述步骤(3)中的焙烧条件为：从室温升至400℃，保温15min，升温速率为5℃/min。

5.按照权利要求1所述的一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，上述步骤(4)中本实验所用循环数为10，即重复以上步骤10次。

6.按照权利要求1所述的一种改进的ALD方法沉积CeO₂，其特征在于，上述步骤中Pd/Al₂O₃催化剂中Pd的含量为1wt％。

7.按照权利要求1-6任一项所述的方法制备的催化Pd/Al₂O₃@CeO₂。

8.按照权利要求1-6任一项所述的方法制备的催化剂Pd/Al₂O₃@CeO₂的应用，用于三效催化剂，具有优良的高温热稳定性。