[发明专利]一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统有效
申请号: | 202110294776.9 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113176273B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 王绍凯;黄运;张世振;韩笑 | 申请(专利权)人: | 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人: | 段守富 |
地址: | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 对焦 装置 方法 以及 面板 缺陷 检测 系统 | ||
本发明提供了一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统,涉及面板缺陷检测技术领域,该自动对焦装置包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器,第一测距传感器监测光学检测单元到待检测面板表面的距离并将检测数据发送给控制器,从而便于控制器将该距离与光学检测单元最佳成像距离进行对比,得出光学检测单元需要行走的距离;同时,控制器控制音圈电机驱动光学检测单元运动至最佳成像位置,光学检测单元运行过程中,通过位置编码器实时反馈光学检测单元的当前位置信息,从而与第一测距传感器和控制器构成闭环控制,确保光学检测单元能精准、高速运动到最佳成像位置,以确保光学检测单元的成像效果。
技术领域
本发明涉及面板缺陷检测技术领域,具体而言,涉及一种自动对焦装置、方法以及面板缺陷检测系统。
背景技术
目前,液晶显示面板在制造完成后可能存在缺陷,而通过人眼进行观察是难以获知全部缺陷的,因此,需要通过面板缺陷检测设备来检测面板的缺陷。
现有的面板缺陷检测设备包括气浮平台和光学检测单元,气浮平台用于悬浮支撑待检测面板,光学检测单元用于拍摄待检测面板的图像以分析图像获取面板缺陷,因此,光学检测单元的成像效果显著影响面板缺陷的检测效果;而待检测面板悬浮于气浮平台上时,待检测面板在气浮平台会存在微小的起伏,导致待检测面板与光学检测单元的距离是时刻变化的,从而难以保证光学检测单元与待检测面板的距离为最佳成像距离,进而导致光学检测单元难以获得最佳成像效果。
发明内容
本发明解决的问题是现有的面板缺陷检测设备中,难以保证光学检测单元与待检测面板的距离为最佳成像距离。
为解决上述问题,本发明第一方面提供一种用于面板缺陷检测的自动对焦装置,包括音圈电机、第一测距传感器、位置编码器和控制器,所述音圈电机、所述第一测距传感器和所述位置编码器分别与所述控制器电连接,所述测距传感器用于监测光学检测单元与待检测面板的距离并反馈所述距离给所述控制器,所述位置编码器用于监测所述光学检测单元的位置信息并反馈所述位置信息给所述控制器,所述音圈电机用于驱动所述光学检测单元运动,所述控制器用于根据距离、所述位置信息和预知的所述光学检测单元的最佳成像距离控制所述音圈电机,以使所述音圈电机驱动所述光学检测单元运动至最佳成像位置。
进一步地,该自动对焦装置还包括底板和活动板,所述音圈电机的定子设于所述底板上,所述音圈电机的动子与所述活动板连接,所述活动板适于相对所述底板移动,所述活动板上适于设有所述光学检测单元。
进一步地,所述位置编码器设于所述活动板上,所述第一测距传感器适于设于所述光学检测单元上。
进一步地,该自动对焦装置还包括重力补偿机构,所述重力补偿机构与所述活动板连接,所述重力补偿机构用于输出一个与所述光学检测单元重力方向相反的恒力。
进一步地,所述重力补偿机构为气缸,所述气缸的活塞杆与所述活动板连接,所述气缸的缸筒设于所述底板上。
进一步地,该自动对焦装置还包括导向机构,所述导向机构用于限定所述活动板相对所述底板的移动方向。
进一步地,所述导向机构包括导向活动件和导向固定件,所述导向固定件设于所述底板上,所述导向活动件与所述活动板连接,所述导向活动件适于相对所述导向固定件上沿所述导向固定件的延伸方向移动。
进一步地,所述导向固定件包括两导轨,两所述导轨平行且间隔设置,所述重力补偿机构设于两所述导轨之间。
进一步地,所述导向固定件包括气浮导轨,所述导向活动件与所述气浮导轨间形成气膜间隙,所述气浮导轨设于所述底板上。
进一步地,所述导向活动件包括气浮轴承,所述气浮轴承与所述导向固定件间形成气膜间隙,所述气浮轴承与所述活动板连接。
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