[发明专利]一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法

权利要求书

1.一种磁控溅射生产线用往复式供料装置的供料方法，其特征在于：所述供料方法如下：

第一步：首先将磁材铺设到磁材固定板上，启动顶升气缸，带动推料架和推料气缸向上运动，然后推料气缸启动，推动磁材固定板向前移动至输送机构的传动杆上后复位，然后启动输送电机，输送电机带动传动杆转动，传动杆通过链条带动其他的传动杆同步转动，传动杆转动时通过摩擦力带动磁材固定板从固定架上移动至输送机构上并且将其送入磁控溅射设备进行镀膜处理；

第二步：镀膜后的磁材随着磁材固定板通过磁控溅射设备推出至另一侧的输送机构上；

第三步：输送机构上的感应器感应到磁材固定板后输送机构上的输送电机启动，通过链条带动传动杆转动，传动杆带动磁材固定板移动至升降架上；

第四步：升降气缸启动，带动升降架以及磁材固定板向下运动，直至移动至行程开关处后升降气缸停止工作；

第五步：升降电机和往复电机启动，带动相应的传动杆进行转动，升降架上的传动杆带动磁材固定板移动至往复底架上的传动杆上随着往复底架上的传动杆移动；直至移动至另一侧的升降架上；

第六步：升降气缸启动，带动磁材固定板向上移动；然后升降电机启动，带动传动杆转动，通过传动杆转动将磁材固定板移动至自动翻转机构上固定架的支撑块上；

第七步：将另一块磁材固定板盖到磁材上；然后启动夹紧气缸，通过夹紧气缸将两块磁材固定板夹紧；

第八步：启动电机，电机带动减速机，减速机带动固定架转动180°后松开夹紧气缸，取出处于上层的磁材固定板；

第九步：然后在通过推料机构将放置有磁材的磁材固定板推至输送机构上进行第二次镀膜，后续步骤与第一次镀膜相同，直至镀膜后的磁材以及磁材固定板回到固定架上后，将磁材取出后放置未进行镀膜的磁材进行往复式工作即可；完成上述供料方法的装置包括磁控溅射设备（1）、安装在磁控溅射设备（1）两侧的供料装置（2）和往复装置（3）；所述供料装置（2）包含自动翻转机构（4）以及处于磁控溅射设备（1）两侧的输送机构（5）；所述自动翻转机构（4）上还安装有推料机构（10）；所述输送机构（5）包含输送机架（51）、安装在输送机架（51）上的若干带座轴承（52）以及活动安装在带座轴承（52）上的传动杆（53），所述传动杆（53）一侧还安装有齿轮（54），所述齿轮（54）上连接有链条（55）；所述输送机架（51）上还安装有输送电机（56），所述输送电机（56）与齿轮（54）通过链条（55）传动连接；所述往复装置（3）包含升降机构（31）和往复输送机构（32）；所述往复输送机构（32）包含往复底架（321）；所述往复底架（321）和升降架（313）上均设有若干带座轴承（52），所述带座轴承（52）上活动安装有传动杆（53），传动杆（53）一端安装有齿轮（54），齿轮（54）上连接有链条（55），所述往复底架（321）上安装有与链条（55）传动连接的往复电机（322），升降架（313）上安装有与升降架（313）上链条（55）传动连接的升降电机（316）；所述升降架（313）和往复底架（321）上均设有感应器（6），所述升降架（313）上还设有行程开关（317）；所述自动翻转机构（4）包含机架（41）、安装在机架（41）上的固定架（42）、安装在固定架（42）上的磁材固定板（43）、安装在机架（41）上且与固定架（42）传动连接的动力机构（7）、安装在固定架（42）上的夹紧机构（8）以及安装在机架（41）上且与动力机构（7）和夹紧机构（8）通过线路连接的PLC控制箱（9）；所述推料机构（10）包含安装在机架（41）上的顶料架（101）、安装在顶料架（101）上的顶升气缸（102）、滑动安装顶料架（101）上且与顶升气缸（102）固定连接的推料架（103）以及安装在推料架（103）上的推料气缸（104）；所述动力机构（7）包含安装在机架（41）上的电机（71）以及与电机（71）传动连接的减速机（72）；所述机架（41）两侧还设有轴承固定座（49），所述固定架（42）两侧设有固定杆（44），所述固定架（42）通过固定杆（44）和轴承固定座（49）的配合活动安装在机架（41）上，其中一侧的固定杆（44）与减速机（72）传动连接；所述固定架（42）上还设有若干支撑块（45）；所述夹紧机构（8）包含安装在固定架（42）上的若干组夹紧气缸（81），所述夹紧气缸（81）包含相反设置的上气缸（82）和下气缸（83）；所述上气缸（82）和下气缸（83）上分别设有上拉块（84）和下拉块（85）；所述上拉块（84）和下拉块（85）之间活动安装有两块磁材固定板（43）；所述磁材固定板（43）两侧还安装有挡块（46）。