[发明专利]量子级联激光器

说明书

一种量子级联激光器，具备：包含第一芯层的第一台面波导；包含第二芯层的第二台面波导；与第一台面波导电连接的第一电极；与第二台面波导电连接的第二电极；及将第一台面波导及第二台面波导埋入的电流阻挡区域。第一台面波导及第二台面波导沿第一方向延伸，并在与第一方向交叉的第二方向上相互分离。电流阻挡区域具有配置在第一台面波导与第二台面波导之间的第一部分和设置在第一部分上的第二部分。第一电极及第二电极分别具有在第二方向上彼此相对的端部。第二部分以超出基准面的方式突出，所述基准面包含第一电极的端部的表面且在第一方向及第二方向上延伸。

技术领域

本公开涉及量子级联激光器。

背景技术

专利文献1公开了具有相互分离地配置的多个台面波导的量子级联激光器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2010-514163号公报

发明要解决的课题

在量子级联激光器的阵列中，在相互分离配置的多个台面波导的各顶面连接电极。相邻的电极间的距离通常与相邻的台面波导间的距离相同。因此，如果台面波导间的距离缩短，则电极间的距离也缩短。其结果是，可能在相邻的电极间产生放电。

发明内容

本公开提供一种能够降低在相邻的电极间产生放电的可能性的量子级联激光器。

用于解决课题的方案

本公开的一方面的量子级联激光器具备：第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；第二台面波导，设置在所述基板上，包含第二芯层；第一电极，与所述第一台面波导电连接；第二电极，与所述第二台面波导电连接；及电流阻挡区域，设置在所述基板上，将所述第一台面波导及所述第二台面波导埋入，所述第一台面波导及所述第二台面波导沿第一方向延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上相互分离，所述电流阻挡区域具有：第一部分，配置在所述第一台面波导与所述第二台面波导之间；及第二部分，设置在所述第一部分上，所述第一电极及所述第二电极分别具有在所述第二方向上彼此相对的端部，所述第二部分以超出基准面的方式突出，所述基准面包含所述第一电极的所述端部的表面且在所述第一方向及所述第二方向上延伸。

发明效果

根据本公开，能够提供可减少在相邻的电极间产生放电的可能性的量子级联激光器。

附图说明

图1是示意性地表示一实施方式的量子级联激光器的俯视图。

图2是图1的沿II-II线的剖视图。

图3是图1的沿III-III线的剖视图。

图4是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图5是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图6是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图7是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图8是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图9是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。

图10的(a)、(b)及(c)是表示图2的量子级联激光器的制造方法中的各工序的图。

图11的(a)、(b)及(c)是表示图2的量子级联激光器的制造方法中的各工序的图。

具体实施方式

[本公开的实施方式的说明]