[发明专利]一种磷污染物的去除方法及装置

权利要求书

1.一种磷污染物的去除方法，其特征在于，所述方法包括：

向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态；

对所述反应腔室内的气体进行气体抽离。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设气体为氢气和氧气的混合气体；

所述向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态，包括：

向所述反应腔室中通入所述氢气和氧气的混合气体；

对所述混合气体进行等离子体处理，以生成氧离子气体；所述氧离子气体用于与所述磷污染物在预设条件下进行化学反应，以使固态的所述磷污染物变为气态。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设条件至少包括腔室内的温度；

所述腔室内的温度为600℃-1100℃。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设条件至少包括腔室内的压力；

所述腔室内的压力为1Torr-8Toor。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述氧离子气体的气体流量为2slm-8slm。

6.根据权利要求1至5任一项所述的方法，其特征在于，在向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态这一步骤之前，所述方法还包括：

提供一磷掺杂的待加工基片；

将所述待加工基片固定在所述氧化机台上；

对所述待加工基片进行氧化处理；其中，在所述氧化处理过程中，所述待加工基片中的磷被散发，进而附着在所述氧化机台上，形成所述磷污染物。

7.一种磷污染物的去除装置，其特征在于，所述装置包括：

气体处理组件，用于向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态；

气体抽离组件，用于对所述反应腔室内的气体进行气体抽离。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述预设气体为氢气和氧气的混合气体；

所述气体处理组件具体用于：

向所述反应腔室中通入所述氢气和氧气的混合气体；

对所述混合气体进行等离子体处理，以生成氧离子气体；所述氧离子气体用于与所述磷污染物在预设条件下进行化学反应，以使固态的所述磷污染物变为气态。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述预设条件至少包括腔室内的温度；

所述腔室内的温度为600℃-1100℃；

所述装置还包括：温度调节组件；

所述温度调节组件用于调节所述腔室内的温度。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述预设条件至少包括腔室内的压力；

所述腔室内的压力为1Torr-8Toor；

所述装置还包括：压力调节组件；

所述压力调节组件用于调节所述腔室内的压力。

11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述氧离子气体的气体流量为2slm-8slm。