[发明专利]一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺

权利要求书

1.一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺，其特征在于：该种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺包括进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔，所述进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔的腔体之间设有阀门，第一工艺腔和第二工艺腔内都铺有加热板，进料腔和隔离腔可根据需求铺设加热板或红外灯管,第二工艺腔包括第三缓冲腔、n个(n≥1)第二镀膜腔和第四缓冲腔,在依次连接的每一个腔体内装置有传输滚轮，载有硅片的托盘在滚轮上传输，载有硅片的托盘依次经过进料腔、第一工艺腔、隔离腔、第二工艺腔和出料腔。

2.根据权利要求1所述的一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺，其特征在于：所述第一工艺腔由第一缓冲腔、第一镀膜腔及第二缓冲腔三个腔体组成，三个腔体下层都铺有加热板，托盘先传入进料腔，可以选择使用红外灯管对托盘和硅片快速加热，然后传入第一工艺腔，加热板对托盘和硅片进行持续加热，托盘在第一缓冲腔内调整至所需工艺传输速度后进入第一镀膜腔，第一镀膜腔上设有由喷淋板组成的上电极，上电极连接功率电源，电源频率为40KHz-80MHz，喷淋板上设有多个均匀分布的密排气孔。

3.根据权利要求2所述的一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺，其特征在于：所述喷淋板上密排气孔均匀通入工艺气体，工艺气体在第一镀膜腔内被解离成等离子体，通入工艺气体为SiH4、H2、CO2或N2O，硅片进入等离子体区域传输过程中被镀上所需薄膜，所镀膜层的厚度可以通过调整镀膜速率、电极板即喷淋板的长度或托盘在镀膜区的传输速度来调整改变，或者喷淋板上密排气孔只通入O2，解离成氧离子后和硅片表面的硅原子反应，形成0.7-1.5nm厚度的SiO2薄层，托盘传输脱离第一镀膜腔后完全进入第二缓冲腔，便完成了二氧化硅膜层的镀膜。

4.根据权利要求2所述的一种制备背钝化太阳能电池的设备及其工艺，其特征在于：所述喷淋板气孔均匀通入臭氧，臭氧进入第一镀膜腔内，臭氧把硅片表面氧化成氧化硅，第一镀膜腔上侧也可采用UV灯的方式解离氧气形成臭氧，臭氧的形成方式可以采用臭氧发生器或UV灯解离等，包括但不限于以上方法。