[发明专利]一种探测装置和实现太赫兹波探测的方法在审
| 申请号： | 202110298258.4 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113175991A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 赵自然;王迎新;陈猛;李亮 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 蒋冬梅;栗若木 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探测 装置 实现 赫兹 方法 | ||
1.一种探测装置，包括：构成电磁谐振阵列的两个以上探测单元(1)，探测单元(1)包括：沟道(1-1)、正金属电极(1-2)、负金属电极(1-3)和电磁谐振结构(1-4)；其中，
正金属电极(1-2)和负金属电极(1-3)欧姆接触于沟道(1-1)的两端，且仅通过沟道(1-1)电连接；
电磁谐振结构(1-4)用于产生电磁谐振。
2.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述正金属电极(1-2)或所述负金属电极(1-3)与电磁谐振结构(1-4)连接。
3.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述探测单元(1)还包括：
用于设置所述沟道(1-1)、正金属电极(1-2)、负金属电极(1-3)和电磁谐振结构(1-4)的衬底(1-5)。
4.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述探测单元还包括：
与所述正金属电极(1-2)连接的正电极引出线(1-6)，和与负金属电极(1-3)连接的负电极引出线(1-7)。
5.根据权利要求1～4任一项所述的探测装置，其特征在于，所述探测单元(1)的尺寸为亚波长量级。
6.根据权利要求1～4任一项所述的探测装置，其特征在于，所述沟道(1-1)沿平面或沿纵向展开。
7.根据权利要求6所述的探测装置，其特征在于，
所述沟道(1-1)沿平面展开时为长方体；
所述沟道(1-1)沿纵向展开时为柱体。
8.根据权利要求7所述的探测装置，其特征在于，所述沟道(1-1)的尺寸由包括热扩散长度在内的信息确定。
9.根据权利要求1～4任一项所述的探测装置，其特征在于，所述沟道(1-1)是设置为：
接收按照预设角度照射的待测太赫兹波；
所述正金属电极(1-2)和负金属电极(1-3)是设置为：输出所述待测太赫兹波照射至所述沟道(1-1)时产生的电信号；
其中，所述电信号与所述太赫兹波的强度成正比。
10.一种实现太赫兹波探测的方法，包括：
将待测太赫兹波按照预设角度照射至预设的探测装置的两个以上探测单元的沟道；
从探测单元的正金属电极和负金属电极，读取由待测太赫兹波照射探测单元的沟道产生的电信号；
根据读取的电信号确定太赫兹波的强度信息；
其中，所述探测装置中所述的两个以上探测单元构成电磁谐振阵列，所述探测单元包括：沟道、正金属电极、负金属电极和电磁谐振结构；所述正金属电极和所述负金属电极欧姆接触于所述沟道的两端，且仅通过所述沟道电连接；所述电磁谐振结构用于产生电磁谐振。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述电信号包括：
电压信号或电流信号。
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