[发明专利]MEMS器件

权利要求书

1.一种MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括：

检验质量块（1），包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧，其中，所述第一侧和所述第三侧相对，所述第二侧和所述第四侧相对；

第一感测梳（2），设为两组，一一对应设置于所述第一侧和所述第三侧，每组所述第一感测梳（2）包括多个第一可移感测梳齿（21）、集成多个所述第一可移感测梳齿（21）的第一可移框架（22）、多个第一固定感测梳齿（23）以及集成多个所述第一固定感测梳齿（23）的第一固定框架（24），所述第一可移感测梳齿（21）和所述第一固定感测梳齿（23）相互交叉形成叉指结构，并沿着所述第一侧的长度方向延伸，其中，所述第一固定感测梳齿（23）和/或所述第一固定框架（24）固定在第一衬底（5）上，所述第一可移框架（22）与所述检验质量块（1）通过弹性悬架（8）弹性连接；

第二感测梳（3），设为一组或多组，分布于所述第二侧和/或所述第四侧，每组所述第二感测梳（3）包括多个第二可移感测梳齿（31）、集成多个所述第二可移感测梳齿（31）的第二可移框架（32）、多个第二固定感测梳齿（33）以及集成多个所述第二固定感测梳齿（33）的第二固定框架（34），所述第二可移感测梳齿（31）和所述第二固定感测梳齿（33）相互交叉形成叉指结构，并沿着垂直于所述第二侧的长度方向延伸，其中，所述第二固定感测梳齿（33）和/或所述第二固定框架（34）固定在所述第一衬底（5）上，所述第二可移框架（32）与所述检验质量块（1）通过所述弹性悬架（8）弹性连接；

驱动梳（4），设为两组，一一对应设置于所述第二侧和所述第四侧，且所述驱动梳（4）设置于所述第二感测梳（3）远离所述检验质量块（1）的一侧，每组所述驱动梳（4）包括多个可移驱动梳齿（41）、集成多个所述可移驱动梳齿（41）的第三可移框架（42）、多个固定驱动梳齿（43）以及集成多个所述固定驱动梳齿（43）的第三固定框架（44），所述可移驱动梳齿（41）和所述固定驱动梳齿（43）相互交叉形成叉指结构，并沿着垂直于所述第二侧的长度方向延伸，其中，所述固定驱动梳齿（43）和/或所述第三固定框架（44）固定在所述第一衬底（5）上，所述第三可移框架（42）连接所述第二可移框架（32），或者所述第三可移框架（42）与所述第二可移框架（32）呈一体式结构；

读出电路（9），包括驱动模块（91）和校准模块（95），所述校准模块（95）在所述检验质量块（1）上施加具有第一频率的第一交流调制电压，所述驱动模块（91）在所述检验质量块（1）上施加直流驱动电压，并在所述第三固定框架（44）上施加交流驱动电压，使得所述检验质量块（1）以振荡方式移动，所述校准模块（95）连接所述第二固定框架（34）并将所述第二固定框架（34）的第二电容变化信号转化成第二电压信号，所述校准模块（95）在所述第一频率下解调所述第二电压信号，并根据所述第二电压信号控制所述交流驱动电压的频率、相位角和幅值。

2.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件还包括所述第一衬底（5）、固定设置于所述第一衬底（5）上的第一传感平面电极（51）、与所述第一衬底（5）连接并形成空腔的第二衬底（6），以及固定设置于所述第二衬底（6）上的第二传感平面电极（61），所述检验质量块（1）、所述第一感测梳（2）、所述第二感测梳（3）、所述驱动梳（4）、所述第一传感平面电极（51）和所述第二传感平面电极（61）均设置于所述空腔内，且所述检验质量块（1）设置于所述第一传感平面电极（51）和所述第二传感平面电极（61）之间。

3.如权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件还包括多个锚点（7），多个所述锚点（7）均固定在所述第一衬底（5）上，所述第一可移框架（22）和所述第二可移框架（32）均与一个或多个所述锚点（7）通过所述弹性悬架（8）弹性连接，其中，多个所述锚点（7）包括第一锚点（71）和第二锚点（72），所述第一锚点（71）设置于所述第一感测梳（2）远离所述检验质量块（1）的一侧，且所述第一锚点（71）与所述第一可移框架（22）通过所述弹性悬架（8）弹性连接，所述第二锚点（72）设置在所述检验质量块（1）的顶角处，且所述第二锚点（72）与所述检验质量块（1）存在间隙。