[发明专利]一种BaZrS3

权利要求书

1.一种BaZrS₃太阳能电池薄膜材料的制备方法，所述方法包括以下步骤：

S100、称取BaZrO₃粉末并硫化处理得到靶材A；

S200、将蓝宝石放入磁控溅射系统中镀钨得到衬底B；

S300、对靶材A和衬底B进行镀膜得到样品C；

S400、将样品C进行热处理得到最终产物BaZrS₃太阳能电池薄膜材料。

2.如权利要求1所述的方法，其中，优选的，其中步骤S100包括：

S101、将称量好的BaZrS₃粉末盛入坩埚放入化学气相沉积炉，向炉内通氩气4-8h以排空炉内氧气；

S102、化学气相沉积炉内氧气排空后开始以5℃/min的速率升温至800-1100℃后，将氩气通道转移至装有CS₂溶液的冷阱中保温3-4h以将BaZrS₃粉末完全硫化，其中，所述保温时间取决于BaZrS₃粉末的质量；

S103、待步骤102保温时间到后设置以5℃/min的速率降温至800-850℃时，关闭CS₂进气口，将氩气通道转移至化学气相沉积炉，直到炉温降至室温，将残余CS₂排除反应管，得到BaZrS₃粉末；

S104、将所述BaZrS₃粉末用有机溶剂清洗3-5次后干燥，球磨，造粒，然后压片得到靶材A。

3.如权利要求1所述的方法，其中，步骤S100中所述BaZrO₃质量为5-10g，所述硫化处理在化学气相沉积炉中进行。

4.如权利要求3所述的方法，其中，所述有机溶剂是丙酮、酒精或者乙酸乙酯中的一种。

5.如权利要求1所述的方法，其中，步骤S200包括将所述靶材A放入脉冲激光沉积设备的溅射室中，抽真空至10^-5Pa，选择蓝宝石基底，使所述靶材A和所述基底保持间距5-6cm，设置基底温度500-600℃，打开激光沉积设备溅射1-2h，得到样品C。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述激光的能量密度在5-6J/cm²。

7.如权利要求1所述的方法，其中，步骤S400中所述热处理在化学气相沉积炉中进行。

8.如权利要求1所述的方法，其中，步骤S400包括取出样品C，将其放入化学气相沉积炉内通氩气4-6h后直至排空炉内氧气，将氩气通道转移至装有CS₂溶液的冷阱中然后以5℃/min的速率升温至500-600℃保温6-8h后得到最终产物BaZrS₃太阳能电池薄膜材料。