[发明专利]一种低聚型缓蚀剂及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种低聚型缓蚀剂，其特征在于，所述低聚型缓蚀剂的结构通式为

其中，所述n为4、5或6。

2.如权利要求1所述的低聚型缓蚀剂，其特征在于，所述低聚型缓蚀剂的数均分子量为932，重均分子量为955，多分散系数为1.0247。

3.如权利要求1或2所述的低聚型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将顺丁烯二酸酐和第一引发剂在加热的条件下溶于水中，继续升温至60℃～100℃，再加入二甲氨基丙基甲基丙烯酰胺；

(2)向步骤(1)得到的溶液中逐滴加入第二引发剂溶液，使所述顺丁烯二酸酐和二甲氨基丙基甲基丙烯酰胺发生聚合反应，得到所述低聚型缓蚀剂。

4.如权利要求3所述的低聚型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述第一引发剂为次亚磷酸钠或亚硫酸氢钠；步骤(2)所述第二引发剂为过硫酸铵或过氧化氢。

5.如权利要求3所述的低聚型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述顺丁烯二酸酐与二甲氨基丙基甲基丙烯酰胺的物质的量之比为2：(1-6)。

6.如权利要求3所述的低聚型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述聚合反应的时间为1h～4h。

7.如权利要求3所述的低聚型缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述第一引发剂物质的量比上顺丁烯二酸酐与二甲氨基丙基甲基丙烯酰胺物质的量之和为1:(2-4)；所述第一引发剂和第二引发剂的质量之和为顺丁烯二酸酐与二甲氨基丙基甲基丙烯酰胺质量之和的2％～10％。

8.如权利要求1或2所述的低聚型缓蚀剂用作金属材料缓蚀剂的应用。

9.如权利要求8所述的应用，其特征在于，所述金属材料为碳钢、不锈钢或铜。

10.如权利要求8所述的应用，其特征在于，所述金属材料置于中性介质中。

11.如权利要求10所述的应用，其特征在于，所述低聚型缓蚀剂在中性介质中的浓度为50mg/L-200mg/L。