[发明专利]一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器有效
| 申请号： | 202110301512.1 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113050250B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 牛冬生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/183 | 分类号： | G02B7/183;G02B7/198 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李湘群 |
| 地址： | 210042 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 螺纹 并联 结构 高精度 位移 促动 | ||
1.一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，包括两套并联式螺纹丝杆结构，即第一螺纹丝杆(9)及与之外配合的第一丝杆螺母(8)、以及空心结构的第二螺纹丝杆(10)及与之外配合的第二丝杆螺母(11)，所述第一丝杆螺母(8)和第二丝杆螺母(11)均为消隙丝杆螺母，且所述第一螺纹丝杆(9)与第二螺纹丝杆(10)均为滚珠丝杆，所述第一螺纹丝杆(9)和第二螺纹丝杆(10)两者螺旋方向相同、且具有不同螺纹导程，利用两者间的相对导程差实现位移的输出，所述第一螺纹丝杆(9)通过导向件与镜面(16)相连，所述第一丝杆螺母(8)和所述第二螺纹丝杆(10)均与驱动电机(1)连接，所述第二丝杆螺母(11)固定于望远镜机架(18)上；所述高精度微位移促动器的位移输出精度为亚微米级或纳米级，采用开环控制即可实现高精度的微位移输出，同时用于实现滚珠丝杆的自锁。
2.根据权利要求1所述的一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，还包括导轨安装座(7)，所述第二丝杆螺母(11)与导轨安装座(7)相连，导轨安装座(7)上固定安装有导向装置，所述导向装置包括直线导轨(6)，所述直线导轨(6)上安装有滑块(4)，所述驱动电机(1)与所述滑块(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，所述第一螺纹丝杆(9)与导向件可在第二螺纹丝杆(10)内部自由移动，所述导向件用于第一螺纹丝杆(9)导向。
4.根据权利要求1所述的一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，所述导向件为滚动花键轴(12)，所述第一螺纹丝杆(9)与滚动花键轴(12)加工成一个零件，即该零件分成两段，一段为螺纹丝杆另一段为滚动花键轴。
5.根据权利要求4所述的一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，所述滚动花键轴(12)与滚动花键套(14)配合。
6.根据权利要求1所述的一种利用螺纹并联式结构的高精度微位移促动器，其特征在于，所述高精度微位移促动器结合位移计形成闭环控制的高精度微位移促动器。
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