[发明专利]整体尺寸减小的微机电传声器

权利要求书

1.一种微机电传声器，包括：

-由第一基板制造的传声器单元，所述传声器单元包括能够在压差的作用下移动的可移动元件(4)和用于测量所述可移动元件的位移的测量装置，

-由第二基板制造的盖，所述盖具有至少一个第一凹槽，

-用于将所述测量装置(10)电连接到控制单元的第一电连接装置，

所述传声器单元和所述盖被组装而使得：所述传声器单元和所述盖在所述传声器单元和所述盖之间界定出受控大气空间以及从所述第一凹槽延伸的第一腔(6)，所述受控大气空间处于低于大气压力的压力且容纳所述测量装置，所述可移动元件部分地封闭所述第一腔(6)，使得所述第一腔与外部环境流体连通，所述受控大气空间和所述第一腔(6)以密封的方式彼此隔绝；所述传声器还包括传递装置(8)和密封隔绝元件(16)，所述传递装置(8)用于将所述可移动元件(4)的位移机械地传递到所述测量装置(10)，所述传递装置(8)穿过所述密封隔绝元件(16)，所述密封隔绝元件(16)在维持密封隔绝的同时也确保所述传递装置(8)的在外部环境与测量室(12)之间的密封通道，其中所述受控大气空间和所述第一腔(6)位于所述密封隔绝元件(16)的平面的同一侧上。

2.根据权利要求1所述的微机电传声器，其中，所述盖具有第二凹槽(12)，所述第二凹槽(12)与所述传声器单元一起界定出所述受控大气空间。

3.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述第一电连接装置位于所述盖中，并且由在所述盖的平面中延伸的至少一个通孔和/或连接轨形成。

4.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述第一电连接装置位于所述传声器单元中且由至少一个通孔形成。

5.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述控制单元是集成到所述第一基板或所述第二基板中的专用集成电路。

6.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述测量装置是电容性测量装置，且包括在所述第一衬底上的固定电极和紧固到所述传递装置的电极。

7.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述测量装置是实现谐振梁的测量装置。

8.根据权利要求1或2所述的微机电传声器，其中，所述受控大气空间是真空空间。