[发明专利]一种MPCVD金刚石打磨装置有效
申请号: | 202110302396.5 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN112872991B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 刘宏明;林琳 | 申请(专利权)人: | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/22 |
代理公司: | 湖州佳灏专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 33476 | 代理人: | 黄永兰 |
地址: | 313000 浙江省湖*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mpcvd 金刚石 打磨 装置 | ||
1.一种MPCVD金刚石打磨装置,包括底座(1),底座(1)的右侧面设有矩形凸起且固定安装有转动电机(2),转动电机(2)的传动轴固定连接有砂轮盘(3),底座(1)的背侧顶面开设有槽且槽内固定安装有十字导轨(4),十字导轨(4)的传动轴固定连接有移动杆(5),移动杆(5)的外壁套入有插柱(6),移动杆(5)的顶面固定连接有磁铁且对应插柱(6)产生吸力,插柱(6)的前侧外壁固定连接有转动轴承且转动轴承的底面通过万向球连接有连接轴(7),连接轴(7)的底面固定连接有连接板(8),连接板(8)的底面固定连接有固定筒(9),固定筒(9)的侧面呈镂空状态,其特征在于:所述固定筒(9)的底面固定连接有底筒(10),固定筒(9)的底面和底筒(10)的顶面均铺设有孔且套入有压块(11),固定筒(9)正面固定连接有中转筒A(12),中转筒A(12)底面固定连接且连通有气管接口(13),中转筒A(12)背面底端与底筒(10)连通;
所述固定筒(9)正面顶面开设有孔且孔内套入有滑板(14),滑板(14)顶面固定连接有伸缩管(15),中转筒A(12)顶面固定连接且连通有固定管(16),固定管(16)顶面开设有圆台孔且内壁通过弹簧A(18)连接有挡板(17),挡板(17)直径大的一面向下,滑板(14)正面固定连接有推杆(19),推杆(19)底端与挡板(17)对应,固定管(16)顶面固定连接有导气管(20),导气管(20)远离固定管(16)的一端与滑板(14)固定连接且推杆(19)位于导气管(20)内,滑板(14)正面的左右两侧均固定连接有中转筒B(21),两个中转筒B(21)均通过气管与导气管(20)连通,中转筒B(21)远离导气管(20)的一面外壁开设有孔,中转筒B(21)后端贯穿中转筒B(21)和滑板(14),中转筒B(21)正面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有传动杆A(22),传动杆A(22)在中转筒B(21)内的外壁固定连接有数个扇板A(23),两个传动杆A(22)在固定筒(9)内的外壁开设有齿槽且套接有传动带(24),连接轴(7)正面固定连接有按压垫(25),按压垫(25)与伸缩管(15)通过气管连通;
所述连接轴(7)外壁开设有环形槽且套入有转环(26),转环(26)外壁设有C字型凸起,且C字型凸起内壁通过转辊连接有杠杆(27),杠杆(27)对应按压垫(25)的一面固定连接有压球(28);
所述固定筒(9)正面在导气管(20)左右两侧均固定连接有换气板(29),换气板(29)远离导气管(20)的一端通过气管与导气管(20)和中转筒B(21)连通,换气板(29)中部内壁固定连接有隔板(31),隔板(31)将换气板(29)内部分隔呈上下两个空间,右侧的换气板(29)内部的上部分与连接中转筒B(21)的气管连通,左侧的换气板(29)内部的下部分与连接中转筒B(21)的气管连通,换气板(29)对应导气管(20)的一面呈镂空状态且上下两面均连接有伸缩垫(30),两个伸缩垫(30)靠近的一面连接有一根气管且气管与导气管(20)连通。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石打磨装置,其特征在于:所述中转筒A(12)背面呈镂空状态,中转筒A(12)正面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有传动杆B(32),传动杆B(32)贯穿中转筒A(12)的背面,传动杆B(32)在中转筒A(12)内的外壁固定连接有数个扇板B(33),传动杆B(32)在中转筒A(12)背端的外壁开设有齿槽,中转筒A(12)背面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有传动杆C(34),传动杆C(34)外壁固定连接有直齿轮(35),直齿轮(35)与传动杆B(32)外壁啮合,传动杆C(34)外壁固定连接有数个扇叶(36),固定筒(9)背面开设有孔且孔内固定连接有筛板(37)。
3.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石打磨装置,其特征在于:所述压块(11)通过弹簧B(41)与底筒(10)底面内壁连接,压块(11)内部开设有滑槽(38),滑槽(38)底面开设有孔,滑槽(38)内壁套入有活塞(39),滑槽(38)顶面开设有两个扇形槽且两个扇形槽内壁均套入有推板(40),推板(40)外壁套入有弹簧C(42)且弹簧C(42)的两端分别与滑槽(38)内壁和活塞(39)顶面连接,两个推板(40)的凸面相对应,两个弹簧C(42)的顶面均固定连接有支撑板(43),两个支撑板(43)呈锥形分布。
4.根据权利要求3所述的一种MPCVD金刚石打磨装置,其特征在于:所述压块(11)上两个支撑板(43)相对应一面均固定连接有连接带(44),连接带(44)外壁连接有数个簧片(45)。
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