[发明专利]一种碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块及其制备方法在审
申请号: | 202110302888.4 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN113097159A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 王来利;侯震鹏;孙立杰;赵成;裴云庆;杨旭;甘永梅;张虹 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/14;H01L25/07;H01L29/16;H01L29/78;H02M1/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 mosfet 芯片 双向 开关 功率 模块 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块及其制备方法,铜底板上横向设置有多块DBC,多块DBC构成9个双向开关,DBC的功率回路通过功率端子引出,DBC上叠加设置有第一PCB板和第二PCB板,第一PCB板和第二PCB板通过引线键合的方式引出驱动端子,9个双向开关连接构成矩阵变换器的拓扑结构;本发明碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块具有体积小,寄生电感小,功率密度大的优点。
技术领域
本发明属于功率器件封装技术领域,具体涉及一种碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块及其制备方法。
背景技术
与硅器件相比,碳化硅功率器件被称为高压和高开关频率器件。碳化硅功率半导体具有固有的优势,如高电压阻断能力,低通态压降,高开关速度和低热阻。因此,与硅功率器件相比,碳化硅功率器件具有更小的导通和开关损耗,且具有更高的工作温度。基于碳化硅MOSFET的双向开关功率模块可以具有更高的工作温度,更高的封装集成化及更高的可靠性。
纳米银焊膏作为一种无铅的界面连接材料,可以通过低温烧结技术实现功率半导体芯片的连接。由于纳米银焊膏具有熔点高、电导率和热导率高、工艺温度低等优点,它逐步替代了传统焊料合金和导电环氧树脂,并广泛应用于高温功率半导体器件中。
矩阵变换器是一种直接变换型的交流-交流电力变换装置。最典型的拓扑为由交流三相变换到交流三相,他的输入输出段之间采用双向开关互相连接,即9开关矩阵变换器。目前,矩阵变换器电路大都是使用分立器件搭建,功率密度较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块及其制备方法,具有更高的工作频率,更好的可靠性,更低的热阻,良好的电气性能,更高的封装集成度,尺寸大大缩小。
本发明采用以下技术方案:
一种碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块,包括铜底板,铜底板上横向设置有DBC基板,DBC基板上叠加设置有第一PCB板和第二PCB板,第一PCB板和第二PCB板通过引线键合的方式引出驱动端子,DBC基板包括多块,每块DBC基板的功率回路通过功率端子引出,所有DBC基板上设置的碳化硅MOSFET芯片的漏极连接构成9个双向开关。
具体的,本发明的特点还在于:每个双向开关包括4片碳化硅MOSFET芯片,4片碳化硅MOSFET芯片设置在一块DBC基板上,通过两两并联构成两组以实现共漏极连接,两组的源极分别通过引线键合引出至对应的源极基板。
具体的,本发明的特点还在于:DBC基板包括三个,每块DBC基板的正面设置有第一铜层,每块DBC基板的背面设置有第二铜层,第一铜层上设置有三片金属基板;铜底板上对应设置有第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔。
具体的,本发明的特点还在于:驱动端子为PIN针,包括24个,功率端子为铜片,包括6个。
具体的,本发明的特点还在于:第一PCB板和第二PCB板之间使用绝缘胶隔离连接。
具体的,本发明的特点还在于:驱动端子包括栅极端子和源极端子,第一PCB板用于引出栅极端子,第二PCB板用于引出源极端子。
具体的,本发明的特点还在于:第一PCB板和第二PCB板均为4层结构,通过过孔使层与层之间部分连接。
本发明的另一技术方案是,一种制备碳化硅MOSFET芯片双向开关功率模块的方法,包括以下步骤:
S1、分别在DBC基板和铜底板上的对应位置处印制一层纳米银焊膏,将碳化硅MOSFET芯片贴附在DBC基板上;将DBC基板贴附在铜底板上;
S2、将步骤S1印刷好纳米银焊膏并完成贴片的铜底板进行真空烧结;
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