[发明专利]一种双向开关功率模块及其制备方法在审
申请号: | 202110304159.2 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN113097154A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 王来利;孙立杰;侯震鹏;赵成;裴云庆;杨旭;甘永梅;张虹 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/31;H01L25/07;H01L29/16;H01L29/78;H02M1/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双向 开关 功率 模块 及其 制备 方法 | ||
1.一种双向开关功率模块,其特征在于,包括覆铜基板DBC,覆铜基板DBC的一侧表面依次设置有驱动端子(12)、碳化硅MOSFET芯片(8)和功率端子(13),碳化硅MOSFET芯片(8)包括多个且间隔设置,多个碳化硅MOSFET芯片(8)之间两两一组并联连接形成两个不同方向的电力电子开关,每个碳化硅MOSFET芯片(8)的栅极和源极分别经驱动电阻(7)与驱动端子(12)连接,多个碳化硅MOSFET芯片(8)设置在同一片铜基板上,源极分别与功率端子(13)连接,形成共漏极连接。
2.根据权利要求1所述的双向开关功率模块,其特征在于,覆铜基板DBC包括陶瓷(6),陶瓷(6)的一侧设置有下铜层(4),另一侧对应设置有上铜层(5),驱动端子(12)、碳化硅MOSFET芯片(8)和功率端子(13)分别设置在上铜层(5)上。
3.根据权利要求2所述的双向开关功率模块,其特征在于,上铜层(5)上设置有漏极导电铜基板(2),漏极导电铜基板(2)的两侧分别设置有驱动侧导电铜基板(1)和源极导电铜基板(3),碳化硅MOSFET芯片(8)设置在漏极导电铜基板(2)上,通过键合线(14)分别与驱动侧导电铜基板(1)和源极导电铜基板(3)连接。
4.根据权利要求3所述的双向开关功率模块,其特征在于,驱动电阻(7)与驱动端子(12)设置在驱动侧导电铜基板(1)上。
5.根据权利要求3所述的双向开关功率模块,其特征在于,功率端子(13)设置在源极导电铜基板(3)上。
6.根据权利要求3所述的双向开关功率模块,其特征在于,碳化硅MOSFET芯片(8)与驱动侧导电铜基板(1)和源极导电铜基板(3)之间分别通过键合线(14)连接。
7.根据权利要求1所述的双向开关功率模块,其特征在于,碳化硅MOSFET芯片(8)包括4个。
8.一种制备权利要求1所述双向开关功率模块的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对覆铜基板DBC进行清洁,在覆铜基板DBC上对应碳化硅MOSFET芯片和驱动电阻的位置处采用钢网印刷方式印制一层纳米银焊膏,将碳化硅MOSFET芯片和驱动电阻贴附于纳米银焊膏层上;
S2、将步骤S1印刷好纳米银焊膏的覆铜基板DBC放入真空烧结炉中进行回流焊接;
S3、将步骤S2烧结完成的覆铜基板DBC取出,在覆铜基板DBC上对应功率端子和驱动端子的位置处印刷纳米银焊膏,采用加热方式分别焊接功率端子和驱动端子;
S4、对步骤S3焊接完成的覆铜基板DBC上的碳化硅MOSFET芯片到电极区域进行引线键合;
S5、使用环氧树脂对步骤S4完成引线键合的覆铜基板DBC进行塑封,制备得到双向开关功率模块。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤S2中,真空烧结的温度为25~300℃,时间为1~2h。
10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤S3中,加热温度为25~300℃。
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