[发明专利]CZT晶体及其后处理方法、CZT晶片、核辐射探测器件及其制备方法在审
申请号: | 202110307620.X | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN113151901A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 田亚杰;闵嘉华;王坤元;王林军;张继军;李磊;刘洪涛 | 申请(专利权)人: | 中广核工程有限公司;深圳中广核工程设计有限公司;上海大学 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B11/00;C30B33/02;C30B33/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 陈春渠 |
地址: | 518000 广东省深圳市大*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | czt 晶体 其后 处理 方法 晶片 核辐射 探测 器件 及其 制备 | ||
1.一种CZT晶体的后处理方法,其特征在于,包括如下步骤:
采用移动加热器法生长CZT晶体;
将所述CZT晶体先在870℃~930℃下进行原位退火处理50h~70h,然后在50h~80h内将温度降至400℃~420℃,最后在400℃~420℃下保温40h~50h。
2.根据权利要求1所述的CZT晶体的后处理方法,其特征在于,所述采用移动加热器法生长CZT晶体的步骤包括:
以纯度均不低于99.99999%的Cd、Zn、Te及In为原料,合成CZT多晶料和富Te的多晶料;
将籽晶、所述富Te的多晶料和所述CZT多晶料从下至上依次置于反应容器中;
采用移动加热器法,在850℃~950℃下生长400h~450h获得所述CZT晶体。
3.根据权利要求2所述的CZT晶体的后处理方法,其特征在于,所述反应容器为内表面镀碳膜的石英容器。
4.一种CZT晶体,其特征在于,由权利要求1~3任一项所述的CZT晶体的后处理方法处理后得到。
5.一种CZT晶片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
获得权利要求4所述的CZT晶体;
选取所述CZT晶体中的单晶,进行切片,制备CZT晶片。
6.根据权利要求5所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,还包括对CZT晶片进行机械抛光和化学抛光的步骤。
7.根据权利要求6所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,所述机械抛光的步骤包括:将所述CZT晶片分别用含有粒径为0.5μm的氧化镁的抛光液和含有粒径为0.05μm的氧化铝的抛光液进行抛光20min~30min,然后用水清洗、干燥。
8.根据权利要求6或7所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,所述化学抛光的步骤包括:将机械抛光处理后的所述CZT晶片依次置于质量百分浓度为2%的溴甲醇溶液和质量百分浓度为2%的溴乙二醇溶液中进行化学抛光2min~3min,然后用甲醇清洗、干燥。
9.一种CZT晶片,其特征在于,由权利要求5~8任一项所述的CZT晶片的制备方法制备得到。
10.根据权利要求9所述的CZT晶片,其特征在于,所述CZT晶片的尺寸为10mm×10mm×2mm。
11.一种核辐射探测器件,其特征在于,包括CZT晶片、金电极和电路组件,所述金电极沉积在所述CZT晶片两侧,所述电路组件与所述金电极电连接,所述CZT晶片为权利要求9或10所述的CZT晶片。
12.根据权利要求11所述的核辐射探测器件,其特征在于,在所述CZT晶片的一侧,所述金电极的厚度为70nm~100nm。
13.一种核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
在CZT晶片两侧沉积金电极,所述CZT晶片为权利要求9或10所述的CZT晶片;
将所述金电极与电路组件电连接,制备核辐射探测器件。
14.根据权利要求13所述的核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,采用电子束蒸发的方式在所述CZT晶片两侧沉积所述金电极。
15.根据权利要求13所述的核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,所述在CZT晶片两侧沉积金电极的步骤之前还包括:依次用酒精、丙酮对所述CZT晶片进行超声清洗,然后用去离子水对所述CZT晶片清洗2次~5次。
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