[发明专利]CZT晶体及其后处理方法、CZT晶片、核辐射探测器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110307620.X 申请日: 2021-03-23
公开(公告)号: CN113151901A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 田亚杰;闵嘉华;王坤元;王林军;张继军;李磊;刘洪涛 申请(专利权)人: 中广核工程有限公司;深圳中广核工程设计有限公司;上海大学
主分类号: C30B29/46 分类号: C30B29/46;C30B11/00;C30B33/02;C30B33/00
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 陈春渠
地址: 518000 广东省深圳市大*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: czt 晶体 其后 处理 方法 晶片 核辐射 探测 器件 及其 制备
【权利要求书】:

1.一种CZT晶体的后处理方法,其特征在于,包括如下步骤:

采用移动加热器法生长CZT晶体;

将所述CZT晶体先在870℃~930℃下进行原位退火处理50h~70h,然后在50h~80h内将温度降至400℃~420℃,最后在400℃~420℃下保温40h~50h。

2.根据权利要求1所述的CZT晶体的后处理方法,其特征在于,所述采用移动加热器法生长CZT晶体的步骤包括:

以纯度均不低于99.99999%的Cd、Zn、Te及In为原料,合成CZT多晶料和富Te的多晶料;

将籽晶、所述富Te的多晶料和所述CZT多晶料从下至上依次置于反应容器中;

采用移动加热器法,在850℃~950℃下生长400h~450h获得所述CZT晶体。

3.根据权利要求2所述的CZT晶体的后处理方法,其特征在于,所述反应容器为内表面镀碳膜的石英容器。

4.一种CZT晶体,其特征在于,由权利要求1~3任一项所述的CZT晶体的后处理方法处理后得到。

5.一种CZT晶片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

获得权利要求4所述的CZT晶体;

选取所述CZT晶体中的单晶,进行切片,制备CZT晶片。

6.根据权利要求5所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,还包括对CZT晶片进行机械抛光和化学抛光的步骤。

7.根据权利要求6所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,所述机械抛光的步骤包括:将所述CZT晶片分别用含有粒径为0.5μm的氧化镁的抛光液和含有粒径为0.05μm的氧化铝的抛光液进行抛光20min~30min,然后用水清洗、干燥。

8.根据权利要求6或7所述的CZT晶片的制备方法,其特征在于,所述化学抛光的步骤包括:将机械抛光处理后的所述CZT晶片依次置于质量百分浓度为2%的溴甲醇溶液和质量百分浓度为2%的溴乙二醇溶液中进行化学抛光2min~3min,然后用甲醇清洗、干燥。

9.一种CZT晶片,其特征在于,由权利要求5~8任一项所述的CZT晶片的制备方法制备得到。

10.根据权利要求9所述的CZT晶片,其特征在于,所述CZT晶片的尺寸为10mm×10mm×2mm。

11.一种核辐射探测器件,其特征在于,包括CZT晶片、金电极和电路组件,所述金电极沉积在所述CZT晶片两侧,所述电路组件与所述金电极电连接,所述CZT晶片为权利要求9或10所述的CZT晶片。

12.根据权利要求11所述的核辐射探测器件,其特征在于,在所述CZT晶片的一侧,所述金电极的厚度为70nm~100nm。

13.一种核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

在CZT晶片两侧沉积金电极,所述CZT晶片为权利要求9或10所述的CZT晶片;

将所述金电极与电路组件电连接,制备核辐射探测器件。

14.根据权利要求13所述的核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,采用电子束蒸发的方式在所述CZT晶片两侧沉积所述金电极。

15.根据权利要求13所述的核辐射探测器件的制备方法,其特征在于,所述在CZT晶片两侧沉积金电极的步骤之前还包括:依次用酒精、丙酮对所述CZT晶片进行超声清洗,然后用去离子水对所述CZT晶片清洗2次~5次。

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