[发明专利]一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法有效

专利信息
申请号: 202110308694.5 申请日: 2021-03-23
公开(公告)号: CN113061974B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 程旭兵;周波 申请(专利权)人: 浙江晶阳机电股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 徐昶
地址: 314000 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 直拉炉 生产 机构 及其 拉直 方法
【权利要求书】:

1.一种真空直拉炉生产机构,生产机构包括第一底板(1),其特征在于,所述第一底板(1)上设有第一支架(11),第一支架(11)上设有单晶炉(2),单晶炉(2)包括炉体(21),炉体(21)下方设有坩埚升降转动组件(23),炉体(21)上设有旋阀(24),旋阀(24)上设有副室(25),炉体(21)上端设有导向组件(22),副室(25)上端设有转动盘(27),第一底板(1)一侧设有取晶组件(3),取晶组件(3)包括夹紧组件(4)和尾托组件(5),夹紧组件(4)包括镜像分布的第一夹紧块(46),第一夹紧块(46)下方设有尾托组件(5),尾托组件(5)包括轴向分布的夹爪(532),轴向分布的夹爪(532)内设有托块(56);

所述导向组件(22)包括镜像分布的第三伸缩杆(221),第三伸缩杆(221)一端均设有第三伸缩柱(222),第三伸缩柱(222)一端设有导向块(223),导向块(223)内设有轴向阵列分布的导向钢珠(224);

所述转动盘(27)上设有第六支架(271),第六支架(271)上设有第五电机(272)和轴承座(274),第五电机(272)一端设有蜗杆(273),轴承座(274)内设有第三转轴(275),第三转轴(275)上设有蜗轮(276)和线圈(277),蜗轮(276)和线圈(277)与第三转轴(275)固定连接,蜗杆(273)带动蜗轮(276)转动;

所述线圈(277)内设有钢绳(28),钢绳(28)下端设有籽晶轴(281),籽晶轴(281)下端设有轴向分布的夹持块(282),夹持块(282)外侧设有螺帽(283),夹持块(282)内设有籽晶(29),转动螺帽(283)使夹持块(282)向内收缩夹紧籽晶(29);

所述取晶组件(3)包括第二地板(31),第二地板(31)上设有第七支架(311),第七支架(311)上设有夹紧组件(4),夹紧组件(4)包括第四支柱(41),第四支柱(41)上设有第一安装板(411)和第二安装板(412),第一安装板(411)和第二安装板(412)之间设有阵列分布的第一滑动杆(413),第二安装板(412)上设有第一气缸(42),第一气缸(42)伸缩端设有第一滑动块(421);

所述第一滑动块(421)上设有转动气缸(43),转动气缸(43)上设有转动板(44),转动板(44)上设有气爪(45),气爪(45)两端均设有夹紧板(451),夹紧板(451)内设有镜像分布的第一夹紧块(46),第一夹紧块(46)上均设有第二转动块(461);

所述尾托组件(5)包括阵列分布的第二安装块(51),第二安装块(51)上设有阵列分布的第一开孔(511)和镜像分布的第二开孔(512),第二安装块(51)之间设有安装架(513),安装架(513)与转动板(44)固定连接,第二安装块(51)一侧设有第二气缸(52),第二气缸(52)一端设有第二气缸伸缩杆(521),第二气缸伸缩杆(521)上设有第二升降板(522),第二升降板(522)上设有镜像分布的第二滑动杆(523),第二滑动杆(523)与第二开孔(512)滑动配合,第二升降板(522)上设有第三气缸(53),第三气缸(53)四周设有轴向分布的第二夹紧块(531),第二夹紧块(531)上均设有夹爪(532),夹爪(532)上均设有防滑垫(533);

所述第二气缸(52)另一端设有固定板(54),固定板(54)与第二气缸(52)固定连接,固定板(54)上设有镜像分布的第四气缸(55),第四气缸(55)上设有第四伸缩柱(551),第四伸缩柱(551)上共同设有移动板(552),移动板(552)上设有阵列分布的第三滑动杆(553),第三滑动杆(553)与第一开孔(511)滑动配合,第三滑动杆(553)一端与移动板(552)固定连接,第三滑动杆(553)另一端设有托块(56),托块(56)内设有凹槽(561)。

2.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于,所述第一底板(1)上设有第一支柱(12)和第二支柱(14),第一支柱(12)一侧设有第一伸缩杆(13),第一伸缩杆(13)固定在第一底板(1)上,第一伸缩杆(13)上端设有第一伸缩板(131),第二支柱(14)上设有第一滑杆(141)。

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