[发明专利]透紫外玻璃

说明书

本发明提供一种透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：55～70％；B₂O₃：2～18％；ZnO：1～20％；La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃：4～30％；Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂：0.5～20％；Li₂O+Na₂O+K₂O：3～15％，其中(La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃)/B₂O₃为0.3～6.0。通过合理的组分设计，本发明获得的玻璃具有较高的紫外透过率和优异的化学稳定性。

技术领域

本发明涉及一种透紫外玻璃，尤其是涉及一种化学稳定性优异的透紫外玻璃。

背景技术

近年来，320～400nm波段的紫外光在防伪验钞、食品包装、金属探测、血液分析、紫外封装、紫外光刻和紫外曝光系统等领域广泛应用。随着半导体制造领域的快速发展，紫外封装、紫外光刻以及紫外曝光系统对精度的要求越来越高。以紫外光刻机物镜系统为例，需要数枚甚至十数枚不同折射率与阿贝数的大口径镜片进行组合，以实现高精度的效果。因此，光电信息领域对紫外透过率较高的玻璃的需求增长迅速。

玻璃在生产和使用过程中会受到环境中各种液体(如酸、碱、水等)的侵蚀，因此玻璃对这些侵蚀的抵抗能力，即玻璃的化学稳定性对于仪器的使用精度和寿命至关重要。CN106977096A公开了一种紫外波段透过率较高的玻璃，但其含有质量百分比为60～70％的磷酸和13～15％的硼酸，玻璃的化学稳定性较差。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种化学稳定性优异的透紫外玻璃。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是：

(1)透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO₂：55～70％；B₂O₃：2～18％；ZnO：1～20％；La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃：4～30％；Ta₂O₅+Nb₂O₅+TiO₂+ZrO₂：0.5～20％；Li₂O+Na₂O+K₂O：3～15％，其中(La₂O₃+Y₂O₃+Gd₂O₃)/B₂O₃为0.3～6.0。

(2)根据(1)所述的透紫外玻璃，其组分以重量百分比表示，还含有：BaO+SrO+CaO+MgO：0～15％；和/或Al₂O₃：0～5％；和/或F：0～3％；和/或澄清剂：0～1％，所述澄清剂为Sb₂O₃、SnO、SnO₂、CeO₂、Cl、Br中的一种或多种。