[发明专利]一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚

权利要求书

1.一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚，其特征在于：包括：石英坩埚本体(1)，所述石英坩埚本体(1)呈圆柱型结构设置且底部边缘处呈圆弧状倒角结构设置，所述石英坩埚本体(1)内底部设置有导热部(3)且导热部(3)呈向上凸起的半弧状结构设置，所述导热部(3)与石英坩埚本体(1)之间形成内倒角(4)且内倒角(4)呈半弧形结构设置，所述石英坩埚本体(1)的底部设置有环形槽(7)和竖向槽(8)，所述环形槽(7)和竖向槽(8)之间形成网状结构并与导热部(3)相连接，所述石英坩埚本体(1)的上部边缘处设置有向外延伸的倒嘴(5)且倒嘴(5)呈锥形结构设置。

2.根据权利要求1所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚，其特征在于：所述石英坩埚本体(1)的上部开口处设置有环形边(6)且环形边(6)向外侧延伸，所述环形边(6)与石英坩埚本体(1)之间一体成型。

3.根据权利要求2所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚，其特征在于：所述石英坩埚本体(1)包括埚壁(2)且埚壁(2)厚度在0.4～0.5mm，所述环形边(6)与埚壁(2)厚度相同。

4.根据权利要求1所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚，其特征在于：所述导热部(3)的厚度在1.0～1.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚，其特征在于：所述环形槽(7)和竖向槽(8)的深度在0.1～0.3mm。

6.根据权利要求1所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚的制备方法，其特征在于：所述高强度电弧石英坩埚的制备方法包括以下步骤：

步骤1：将氢氧化铝、二氧化钡、氧化镁和氧化钛与高纯石英砂混合，在600～800℃下搅拌混合2～5h，冷却至室温后采用微粉机粉碎至粒度为120～180目，即得高纯石英砂混合物；

步骤2：将步骤1所得高纯石英砂混合物倒入高纯石墨模具内，石墨模具内包括形成导热部的凸起、环形槽和竖向槽的凸起以及环形边形成的凹槽，并进行抽真空处理，使高纯石英砂混合物在模具内填充均匀；

步骤3：在高纯石墨模具上接入电流，形成2000℃以上的高温状态的电弧，缓慢将高纯石英砂混合物熔化并形成坩埚基体，待坩埚基体熔融成型后，自然冷却至室温后脱模，既得石英坩埚坯；

步骤4：对石英坩埚坯进行初步检测，确认无裂痕瑕疵后进行冷加工，冷加工包括：喷砂、切断、倒角工序；

步骤5：对经过冷加工的石英坩埚进行二次检测，检测无瑕疵后进行清洗工序，清洗工序包括：超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干；

步骤6：对清洗完成后的石英坩埚进行加温烘干，使其水分充分蒸发后进行喷涂，再对石英坩埚进行三次检测，检测无瑕疵后进行真空包装，既得石英坩埚成品。

7.根据权利要求6所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚的制备方法，其特征在于：所述步骤2的真空度控制在：-0.093～-0.1MPa，熔制时间：20～25min。

8.根据权利要求6所述的一种能够快速导热的高强度电弧石英坩埚的制备方法，其特征在于：所述步骤6的加温烘干温度控制在：200～800℃，烘干时长为：3～6min。