[发明专利]一种岛状纳米多孔金基底的制备方法在审
申请号: | 202110312059.4 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN113088906A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 张玲;周俊杰;曾和平 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;G01N21/65 |
代理公司: | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人: | 余昌昊 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 多孔 基底 制备 方法 | ||
1.一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、进行准备镀膜的材料,制备纯铬靶材、纯金靶材、金银合金靶材;
S2、使用磁控溅射镀膜仪在单晶硅表面依次溅射铬膜、金膜、和金银合金薄膜,得到薄膜前驱体;
S3、利用合金成分化学活性差异,采用试剂去除合金中的银素,形成多孔金;
S4、取出样品,先用去离子水冲洗数次,以出去样品表面吸附的试剂,然后用氮气吹干,得到岛状纳米多孔金SERS基底;
S5、对所述步骤S4中的基底进行拉曼信号的检测。
2.如权利要求1所述的一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,其特征在于,所述基底为散开岛屿状的结构且为纳米多孔金的双连续金韧带或孔道结构。
3.如权利要求2所述的一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,其特征在于,所述基底三维双连续结构被脱合金过程中薄膜收缩形成的间隔分割成金团簇岛屿,且构成岛屿的金韧带之间的纳米孔尺寸远小金韧带尺寸。
4.如权利要求3所述的一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,其特征在于,所述直径的尺寸由薄膜前驱体的厚度与脱合金的时间决定。
5.如权利要求1所述的一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,其特征在于,所述步骤S5包括以下步骤:
S51、将基底浸泡在10-6M的罗丹明6G溶液中,两小时后取出基底,用去离子水冲洗掉基底表面的R6G溶液,用氮气吹干基底;
S52、选用波长为532nm的激光进行光谱检测,激光功率为0.5mw,信号采集时间为1秒。
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