[发明专利]一种新型高灵敏微湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110312310.7 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113092540B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 徐淮良;姚丹雯;苏越 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B23K26/36 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 灵敏 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种新型高灵敏微湿度传感器，其特征在于，该器件由两层PEGDA/PI薄膜正对组装在一起构成；其中，所述PEGDA/PI薄膜是由PEGDA水凝胶粘附在PI衬底上，通过飞秒激光直写技术在PEGDA表面引入微纳结构制备得到，并在PEGDA上附加一层碳纳米薄膜，银浆滴涂在器件两侧用以连接电极。
2.如权利要求1所述的一种新型高灵敏微湿度传感器，其特征在于，所述碳纳米薄膜的厚度范围为30-50nm。
3.如权利要求1所述的一种新型高灵敏微湿度传感器的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
步骤一：PI薄层衬底通过酸碱处理，增大表面粗糙度，提高粘结力且不影响表观质量和内在力学性；在处理后的PI衬底上均匀涂覆一层PEGDA水凝胶；
步骤二：在Visual Studio软件中利用C#语言，生成由待加工结构的坐标点组成的TXT数据文档，数据描绘出所设计的三维结构，并利用飞秒激光直写系统通过双光子聚合的方式在PEGDA水凝胶上制备出所设计的结构；
步骤三：将乙醇和水以2:1的体积比混合制备显影液，再将上述结构完全浸入显影液，去除未被飞秒激光焦斑固化的地方，得到所需结构；
步骤四：在制备好的PEGDA上喷涂一层碳纳米管薄膜，之后放在加热平台上进行固化；
步骤五：将银浆滴涂在整体结构的一侧，用以连接电极；
步骤六：按上述步骤重复操作，得到两个同样的结构，正对组装在一起组成传感器。
4.如权利要求3所述的一种新型高灵敏微湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤一中所述的PEGDA水凝胶的厚度为1-5μm。
5.如权利要求3所述的一种新型高灵敏微湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤一中所述的酸碱处理具体是采用草酸溶液、NaOH溶液、脱盐水分别处理PI衬底。
6.如权利要求3所述的一种新型高灵敏微湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤二中所述飞秒激光直写系统采用激光中心波长为800nm，激光脉宽为100fs，重复频率为80GHz，聚焦后激光焦斑直径为700nm，飞秒激光曝光功率为15mW，曝光时间为500μs。
7.如权利要求3所述的一种新型高灵敏微湿度传感器的制备方法，其特征在于，步骤四中所述碳纳米管固化所用温度为80℃。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110312310.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种针织衫的上色装置
- 下一篇：一种SARS-CoV-2中和抗体检测试剂盒
