[发明专利]全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置及其使用方法

权利要求书

1.全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，包括工作槽、密封圈、密封盖、夹具和超声换能器，其特征在于：还包括载物台、加热件、低频振动件和直线运动机构；所述工作槽的内壁开设有环形槽，环形槽内设有密封圈；工作槽的顶部可拆卸连接有密封盖；所述的载物台与工作槽内壁构成滑动副，并位于密封圈下方；载物台顶面固定有沿周向均布的多个加热件，每个加热件上均固定有低频振动件和夹具；载物台由直线运动机构驱动上下运动；工作槽外部固定有三组超声换能器，每组的两个超声换能器频率相同，且关于工作槽的中心轴线对称布置；不同组超声换能器的频率不同；工作槽内位于密封圈下方设有超声清洗液，超声清洗液的液面高度不超过密封圈底面；所述的加热件、低频振动件、直线运动机构和超声换能器均与置于工作槽外的控制器电气连接。

2.根据权利要求1所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述的密封盖开设的通气口与真空机通过气管连接，真空机与控制器电气连接。

3.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述的低频振动件为振动电机、机械式波发生器或压电器件。

4.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述的直线运动机构为直线电机，或由旋转电机和运动转换机构组成的组件；所述的运动转换机构为由丝杠螺母副和导杆组成的组件，或四杆机构；若直线运动机构为直线电机，直线电机的底座固定在密封盖底面，直线电机的动子与载物台的顶面中心位置固定；若直线运动机构为由旋转电机和运动转换机构组成的组件，旋转电机的底座固定在密封盖底面；若运动转换机构为丝杠螺母副，丝杠螺母副的丝杠与旋转电机的输出轴固定，丝杠螺母副的螺母与载物台的顶面中心位置固定，并与固定在旋转电机底座上的导杆构成滑动副；若直线运动机构为曲柄滑块机构，曲柄滑块机构的曲柄一端与旋转电机的输出轴固定，另一端与连杆的一端铰接，连杆的另一端与滑块固定，滑块与载物台的顶面中心位置固定。

5.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述三组超声换能器的频率范围分别为大于80khz、大于50khz且不超过80khz、20khz-50khz。

6.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述的加热件、低频振动件和直线运动机构与控制器连接的电缆均由工作槽侧壁开设的同一个过孔穿出，且电缆与过孔之间做密封处理。

7.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述工作槽的底部开设有补液孔和抽液孔；补液孔与补液泵的输出口通过一个补液管道连接，该补液管道上设有开关阀；补液泵的输入口与清洗液桶通过另一个补液管道连接；抽液孔与抽液泵的输入口通过一个抽液管道连接，该抽液管道上设有开关阀；抽液泵的输出口与废液桶通过另一个抽液管道连接。

8.根据权利要求2所述的全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置，其特征在于：所述工作槽的内壁顶部固定有沿周向均布的多个喷头，喷头与置于工作槽外部的喷淋泵输入口通过喷淋管道连接，喷淋泵的输出口与喷淋液通过喷淋管道连接。