[发明专利]研磨头系统、研磨装置及处理系统

权利要求书

1.一种研磨头系统，用于一边将具有被处理膜的工件按压于研磨面，一边在研磨液的存在下，使该工件与所述研磨面相对运动，由此研磨该工件，该研磨头系统的特征在于，具备：

研磨头，该研磨头具有致动器、固定部件及多个第一压电元件，该致动器对所述工件施加按压力，该固定部件配置于所述致动器的外侧，该多个第一压电元件连结于所述固定部件；及

驱动电压施加装置，该驱动电压施加装置对所述多个第一压电元件独立地施加电压。

2.如权利要求1所述的研磨头系统，其特征在于，

所述固定部件是分别连结于所述多个第一压电元件的多个固定部件。

3.如权利要求1或2所述的研磨头系统，其特征在于，

进一步具备固定部件移动装置，该固定部件移动装置使所述多个第一压电元件及所述固定部件整体朝向所述研磨面移动。

4.如权利要求3所述的研磨头系统，其特征在于，

所述固定部件移动装置具备：弹性囊，在该弹性囊的内部形成第一压力室；及第一气体供给管线，该第一气体供给管线连通于所述第一压力室。

5.如权利要求1或2所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具备多个连结部件，该多个连结部件分别连结于所述多个第一压电元件，所述多个连结部件的端面连接于所述固定部件。

6.如权利要求5所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具备第一保持部件，该第一保持部件限制所述多个连结部件在与所述固定部件的按压方向垂直的方向上的移动范围。

7.如权利要求5所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具备多个按压力测定装置，该多个按压力测定装置测定所述多个第一压电元件分别产生的多个按压力。

8.如权利要求7所述的研磨头系统，其特征在于，

所述多个按压力测定装置分别配置于所述多个第一压电元件与所述多个连结部件之间。

9.如权利要求1或2所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具有电压分配器，所述电压分配器构成为：电连接于所述驱动电压施加装置及所述多个第一压电元件，并将从所述驱动电压施加装置施加的电压分配至该多个第一压电元件。

10.如权利要求1或2所述的研磨头系统，其特征在于，

所述致动器是流体压力式致动器，所述流体压力式致动器具有：弹性膜，该弹性膜形成多个第二压力室，且与所述工件的背面接触；及多个第二气体供给管线，该多个第二气体供给管线分别连通于所述多个第二压力室。

11.如权利要求1或2所述的研磨头系统，其特征在于，

所述致动器是多个第二压电元件，且以在所述工件的多个区域施加按压力的方式排列。

12.如权利要求11所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具备多个按压部件，该多个按压部件分别连结于所述多个第二压电元件。

13.如权利要求12所述的研磨头系统，其特征在于，

所述研磨头进一步具备第二保持部件，该第二保持部件限制所述多个按压部件在与所述工件的按压方向垂直的方向上的移动范围。

14.如权利要求11所述的研磨头系统，其特征在于，

所述第二压电元件电连接于电压分配器，所述电压分配器以将从所述驱动电压施加装置施加的电压分配至该多个第二压电元件的方式构成。