[发明专利]一种可批量化金属球表面均匀镀膜的方法

权利要求书

1.一种可批量化金属球表面均匀镀膜的方法，包括如下步骤：

金属球经表面清洁后置于镀膜球盘中，然后进行镀膜即可；

在所述镀膜过程中，将所述金属球约束在所述镀膜球盘的流道内，并保持自由流动；

所述镀膜球盘包括一盘体，所述盘体内设有若干同心的所述流道，所述流道之间设有间距；

所述流道的宽度为所述金属球直径的1.2～1.5倍；

所述金属球的直径为0.5～15mm；

所述镀膜的方法为下述任一种：

气相沉积法、离子注入法、等离子浸没注入法、磁控溅射法和阴极电弧沉积法；

采用气相沉积法进行镀膜时，将所述镀膜球盘安装于气相沉积设备的真空镀膜腔体内，将驱动电机通过真空旋转轴与所述镀膜球盘连接；

通过所述驱动电机控制所述镀膜球盘的运动方向和运动速度，利用运动过程中产生的向心力和惯性，将所述金属球约束在固定的所述流道内。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述流道为等间距布置。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述表面清洁包括如下步骤：酸洗、碱洗、酒精洗和/或丙酮洗。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述方法还包括定期更换所述金属球所在所述流道的步骤。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：通过调节所述镀膜球盘的转速实现所述流道的更换。