[发明专利]一种柔弹性导电微纳柱体的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种微纳柱体板，其特征在于，所述微纳柱体板由微纳柱体和底板构成，所述微纳柱体垂直竖立于所述底板表面，所述微纳柱体顶端含有荧光标记。

2.根据权利要求1所述的微纳柱体板，其特征在于，所述微纳柱体的直径为0.1～5μm。

3.根据权利要求1所述的微纳柱体板，其特征在于，所述荧光标记包括荧光化合物标记或荧光染料标记，所述荧光化合物为罗丹明B。

4.根据权利要求1所述的微纳柱体板，其特征在于，所述微纳柱体和所述底板的制备材料包括聚二甲基硅氧烷单体、聚二甲基硅氧烷固化剂、磺化碳纳米管和异丙醇。

5.根据权利要求4所述的微纳柱体板，其特征在于，所述微纳柱体和所述底板由2～3g的聚二甲基硅氧烷单体和聚二甲基硅氧烷固化剂混合物，0.2～0.3g磺化碳纳米管和10～15mL异丙醇制得，所述聚二甲基硅氧烷单体和聚二甲基硅氧烷固化剂混合物中聚二甲基硅氧烷单体和聚二甲基硅氧烷固化剂的混合质量比为(9～11):1。

6.权利要求1～5任一项所述微纳柱体板的制备方法，包括如下步骤：

(1)在基板上涂抹PDMS及其固化剂的混合物，并铺上一层多孔PET模板；

(2)加热固化，在多孔PET模板上滴加荧光标记物，使荧光标记物进入多孔PET模板上的孔洞中；

(3)将PDMS及其固化剂的混合物、磺化碳纳米管溶解在异丙醇，加热至粘稠状复合物，将粘稠状复合物涂抹在多孔PET模板上，使粘稠状复合物完全充填多孔PET模板上的孔洞；

(4)剥离所述基板和PDMS层，去除PET模板，即得微纳柱体板；

其中，所述基板选自塑料基板；

所述多孔PET模板的孔洞直径为0.1～5μm；

所述荧光标记物为罗丹明B；

所述去除PET模板采用O₂等离子体蚀刻，所述蚀刻功率为100～120W。

7.权利要求1～5任一项所述微纳柱体板的制备方法，包括如下步骤：

(1)在光刻胶基板上涂抹光刻胶，加热软化，在光刻机上装载掩膜版进行曝光，得到多孔光刻胶模板；

(2)滴加荧光标记物，使荧光标记物进入多孔光刻胶模板上的孔洞中；

(3)将PDMS及其固化剂的混合物、磺化碳纳米管溶解在异丙醇，加热至粘稠状复合物，将粘稠状复合物涂抹在多孔PET模板上，使粘稠状复合物完全充填多孔PET模板上的孔洞；

(4)剥离所述基板和PDMS层，去除光刻胶模板，即得微纳柱体板；

其中，所述掩膜版中具有多个孔洞；

所述多孔光刻胶模板的孔洞直径为0.1～5μm；

所述荧光标记物为罗丹明B。

8.一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器由权利要求1～5任一项所述微纳柱体板制备得到，所述压力传感器优选由权利要求1～5任一项所述微纳柱体板采用阵列贴合封装的方式制备得到。

9.一种细胞活动监测装置，其特征在于，所述细胞活动监测装置中包括权利要求1～5任一项所述微纳柱体板。

10.权利要求1～5任一项所述微纳柱体板在细胞活动检测中的应用；

所述细胞包括心肌细胞。