[发明专利]一种基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器

权利要求书

1.一种基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，包括自下而上层叠设置的第一介质基板及第二介质基板，其特征在于，所述第一介质基板设置为SIW传输线，所述SIW传输线上表面设有第一矩形区域，所述第一矩形区域内的金属刻蚀呈周期性排列栅格；所述第二介质基板设置为SIW腔，所述SIW腔下表面设有第二矩形区域，所述第二矩形区域内的金属被去除，所述第一矩形区域的面积与第二矩形区域的面积相同且SIW腔和SIW传输线按矩形区域对准堆叠；所述SIW传输线、呈周期性排列栅格及SIW腔形成人工等离子体激元传输结构，该结构能支持人工等离子体激元表面波的传输，形成滤波器的通带和阻带；

还包括第三介质基板；所述第三介质基板层叠覆盖在第二介质基板上表面且第二介质基板上表面设置为SIW腔；所述第一介质基板与第二介质基板不相层叠覆盖的两端部分分别为共面波导到SIW的第一过渡部分、第二过渡部分；所述SIW传输线包括第一过渡部分、第二过渡部分及第一介质基板与第二介质基板相层叠覆盖区域；所述第一介质基板与第二介质基板相层叠覆盖区域中心线呈周期性排布设置金属栅格；所述金属栅格是通过刻蚀第一介质基板上表面的铜箔而形成的；所述第三介质基板表面设置两行平行的金属通孔；所述金属通孔贯通第一介质基板至第二介质基板；

还包括第四介质基板、第五介质基板；所述第四介质基板、第二介质基板关于第一介质基板为中心线相对称设置；所述第五介质基板、第三介质基板关于第一介质基板为中心线相对称设置；所述第四介质基板覆盖在第五介质基板上表面且第四介质基板下表面设置为SIW腔；所述两行平行的金属通孔从上至下贯通第四介质基板、第五介质基板。

2.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述SIW腔中介质保留形成介质腔或去除介质形成空气腔。

3.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述第三介质基板上的铜箔上下双面保留或只保留下表面的铜箔。

4.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述第一过渡部分、第二过渡部分表面分别设置两行平行的金属通孔。

5.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述第二介质基板上表面设置的SIW腔为空气腔。

6.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述第一介质基板的下表面的第一过渡部分、第二过渡部分设有完整的金属地。

7.根据权利要求1所述的基于等离子体激元的带宽可控毫米波滤波器，其特征在于，所述第二介质基板、第四介质基板的SIW腔均为空气腔。