[发明专利]微缝气浮单元及其成型方法

权利要求书

1.微缝气浮单元，其特征在于，包括上壳体(1)、导气腔(2)和具有狭缝(3-1)的底板(3)；其中，狭缝(3-1)的形状为蜂窝状，狭缝(3-1)的宽度为毫米级；

上壳体(1)盖合在具有狭缝(3-1)的底板(3)上，且二者底面平齐；

导气腔(2)设置在具有狭缝(3-1)的底板(3)上，且导气腔(2)与狭缝(3-1)连通；

底板(3)的外部、导气腔(2)的外部和上壳体(1)三者之间所形成的空间内填充有浇筑材料，导气腔(2)通过进气通道(5)与上壳体(1)外部连通；

流经狭缝(3-1)的气流喷射方向垂直于工作平面。

2.根据权利要求1所述的微缝气浮单元，其特征在于，上壳体(1)上还设有压紧柱(1-2)，压紧柱(1-2)位于导气腔(2)上方，且挤压在上壳体(1)的内壁与导气腔(2)之间。

3.根据权利要求1所述的微缝气浮单元，其特征在于，具有狭缝(3-1)的底板(3)和浇筑材料的材质相同。

4.根据权利要求1所述的微缝气浮单元，其特征在于，狭缝(3-1)的宽度范围为从0.01mm至0.05mm。

5.微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，该成型方法是基于上壳体(1)、上基板(6)、铝蜂窝芯(7)和下模板(4)实现的；上壳体(1)上设有浇筑孔(1-1)，上基板(6)为平板型基板、且其上设有孔状结构，且上设有限位柱(6-1)；

该成型方法的实现方式包括：

步骤一、将上壳体(1)扣合在下模板(4)上，且上基板(6)和铝蜂窝芯(7)设置在上壳体(1)和下模板(4)之间的空腔内，且上基板(6)位于铝蜂窝芯(7)上方，上基板(6)上的限位柱(6-1)贯穿上壳体(1)，并伸出至上壳体(1)外，通过限位柱(6-1)对上壳体(1)进行限位；

步骤二、通过浇筑孔(1-1)浇筑浇筑材料，使浇筑材料填充上壳体(1)和下模板(4)之间的空腔、上基板(6)上的孔以及铝蜂窝芯(7)上的窝孔(7-1)，待浇筑材料固化后拆除下模板(4)，并对浇筑后的铝蜂窝芯(7)的底面进行研磨，使其平整；

步骤三、利用腐蚀材料溶解铝蜂窝芯(7)的窝壁(7-2)和上基板(6)的平板型基板及上基板(6)的限位柱(6-1)，而固化后的待浇筑材料和上壳体(1)不被腐蚀，使得铝蜂窝芯(7)的窝壁(7-2)溶解后形成具有狭缝(3-1)的底板(3)、上基板(6)的平板型基板溶解后形成导气腔(2)、限位柱(6-1)溶解后形成进气通道(5)，从而形成微缝气浮单元；

其中，狭缝(3-1)与导气腔(2)和进气通道(5)连通。

6.根据权利要求5所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，步骤二中，浇筑材料为混凝土流体、环氧树脂流体或人造石流体。

7.根据权利要求5所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，上基板(6)和铝蜂窝芯(7)均采用金属铝实现。

8.根据权利要求7所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，步骤三中的腐蚀材料为酸性。

9.根据权利要求5所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，步骤二中，对浇筑后的铝蜂窝芯(7)的底面进行研磨后，其浇筑后的铝蜂窝芯(7)底面的平面度小于5um。

10.根据权利要求5所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，步骤三中，铝蜂窝芯(7)的窝壁(7-2)溶解后形成狭缝(3-1)的宽度为毫米级。

11.根据权利要求10所述的微缝气浮单元的成型方法，其特征在于，步骤三中，铝蜂窝芯(7)的窝壁(7-2)溶解后形成狭缝(3-1)的宽度为铝蜂窝芯(7)的窝壁(7-2)厚度，且狭缝(3-1)的宽度范围为从0.01mm至0.05mm。