[发明专利]无需退火的氧化物晶体生长方法及设备在审
申请号: | 202110318110.2 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN113073387A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 王宇;官伟明;李敏 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B29/34;C30B15/00 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 杨永梅 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 无需 退火 氧化物 晶体生长 方法 设备 | ||
本说明书实施例提供一种晶体生长方法,所述方法包括:根据生成晶体的反应方程式对式中各反应物料进行第一预处理后按摩尔比对反应物料进行称重,其中,包含Si或Ga的反应物料的重量超出基于反应方程式计算出的其理论重量的0.01%‑10%;对晶体生长装置的至少一个部件进行装配前处理后,将执行过第二预处理的反应物料置于晶体生长装置内,装配前处理至少包括对埚的涂层保护、酸液泡洗、异物清洁中的一种或多种;晶体生长装置密闭后内部通入流动气体;启动晶体生长装置基于上提拉法生长晶体。
分案说明
本申请是针对申请日为2019年8月21日、申请号为201980051053.7的中国申请提出的分案申请。
技术领域
本申请涉及晶体生长领域,特别涉及一种用于生长无需退火的氧化物晶体的生长方法及设备。
背景技术
闪烁晶体是一种能将电离辐射能(如γ射线、X射线)转化为光能(主要为可见光)的能量转化介质,其被广泛用于核医学如X射线断层扫描(CT)、正电子发射断层扫描(PET),核探测技术如工业断层扫描(工业CT)、油井勘探、核物理、高能物理、环境检测、安全检测、武器装备火控及制导等领域。特别是在高能物理及核医学成像领域,要求闪烁晶体具有较高的光产额,较强的γ射线吸收能力,较短的发光衰减时间,较大的辐照硬度、密度、原子序数等,符合要求的氧化物晶体的制备大多是在真空单晶炉上生长,晶体生长的整个过程都在缺氧的环境下进行,待晶体加工完成后再进行高温退火处理,进一步改善晶体性能,提高光产额。晶体后续增加的退火处理对晶体性能有约15-30%的提升,但也延长了成品的生产周期。因此,需要一种缩短生产周期的晶体生长工艺方法及设备。
发明内容
本申请披露了的一种在富氧含量的流动气氛中晶体生长方法,使用该方法晶体生长有令人讶异的优秀的重复性,并使晶体每次生长的品质都能达到另人讶异一致性,解决了二氧化硅易挥发,生长时易开裂和组分偏离,生产周期长,不易获得闪烁性能均匀且无氧缺位晶体的问题。
本申请实施例之一提供一种晶体,所述晶体具有如下分子式:或其中,X由Gd、Lu、La、Yb、Sc、Y中的一个或以上组成,Y由Ce、Na、K、Cu、Ag、Mg、Ca、Zn、Sr、Gd、B、Al、Ga、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Ti、Ge、Zr、Sn、Hf、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Y、Pm、Lu中的一个或以上组成,Z由Sc、Y、Gd、Lu中的一个或以上组成,M由O、Cl、F、Br、S中的一种或以上组成,N由Cl、F、Br、S中的一种或以上组成;x=0.000001-0.06,y=0-1,n=0-5。
在一些实施例中,X由Lu组成,Y由Ce组成,Z由Y组成,M由O组成;所述晶体具有如下的分子式:或
本申请实施例之一提供一种晶体,所述晶体的分子式如下所示:(A1-bBb)3(P1-qQq)5O12;其中,A由Gd、Lu、La、Yb、Sc、Y中的一个或以上组成,B由Ce、Na、K、Cu、Ag、Mg、Ca、Zn、Sr、Gd、B、Al、Ga、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Ti、Ge、Zr、Sn、Hf、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Y、Pm、Lu中的一个或以上组成,P由Al、Ga、In、Sc中的一个或以上组成,Q由Al组成;b=0-1,q=0-1。
在一些实施例中,,A由Gd组成,B由Ce组成,P由Ga组成;所述晶体具有如下的分子式:(Gd1-bCeb)3(Ga1-qAlq)5O12。
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