[发明专利]激光装置和激光装置处理方法

权利要求书

1.一种激光装置，包括：

激光束输出部；

校正部，校正从所述激光束输出部射出的激光束；

激光扫描器，对由所述校正部校正的所述激光束进行扫描；

反射体，将由所述激光扫描器扫描的所述激光束反射到处理基板；以及

控制部，控制所述校正部，

所述控制部根据所述激光扫描器的扫描条件来控制所述校正部。

2.如权利要求1所述的激光装置，其中，

所述校正部包括能够变形的镜子。

3.如权利要求2所述的激光装置，其中，

所述校正部包括微孔薄膜、压电元件、微机电系统中的至少一种。

4.如权利要求1所述的激光装置，其中，

所述控制部包括存储器，

所述存储器存储根据所述激光扫描器的扫描角度的所述校正部的形状数据。

5.如权利要求1所述的激光装置，其中，

所述激光扫描器包括第一扫描器和第二扫描器，

所述第一扫描器沿着第一方向对所述激光束进行扫描，

所述第二扫描器沿着与所述第一方向垂直的第二方向对所述激光束进行扫描。

6.如权利要求1所述的激光装置，还包括：

第一光学体，位于所述激光扫描器与所述反射体之间，

所述第一光学体被配置成比所述反射体更靠近所述激光扫描器。

7.如权利要求6所述的激光装置，其中，

所述第一光学体为球面透镜。

8.如权利要求7所述的激光装置，其中，

所述反射体为球面镜子。

9.如权利要求8所述的激光装置，其中，

所述球面透镜的轴与所述球面镜子的轴彼此平行。

10.如权利要求8所述的激光装置，其中，

将所述激光扫描器与所述反射体之间的间隔设为d，且将所述球面镜子的曲率半径设为R时，满足R/2×0.91dR/2×1.09。

11.如权利要求1所述的激光装置，还包括：

第二光学体，位于所述激光束输出部与所述校正部之间，

所述第二光学体为球面透镜。

12.一种激光装置处理方法，包括：

根据激光束将要入射至处理基板上的位置来决定激光扫描器的方向的步骤；

控制部接收所述激光扫描器的方向信息，并且根据所述激光扫描器的所述方向信息来控制校正部的步骤；

通过所述校正部对从激光束输出部射出的激光束进行初次校正的步骤；

通过所述激光扫描器对经过了所述初次校正的所述激光束进行扫描的步骤；

使经过了扫描的所述激光束入射至反射体的步骤；以及

使从所述反射体被反射的激光束入射至所述处理基板上的步骤。

13.如权利要求12所述的激光装置处理方法，其中，

所述校正部包括能够变形的镜子，

在控制所述校正部的步骤中，根据所述激光扫描器的所述方向信息来改变所述校正部的形状。

14.如权利要求13所述的激光装置处理方法，其中，

所述控制部包括存储器，

在所述存储器存储根据所述激光扫描器的所述方向信息的所述校正部的形状数据，

所述控制部从所述存储器读取所述校正部的所述形状数据来改变所述校正部的形状。