[发明专利]一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法在审
| 申请号： | 202110318909.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113073300A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 吴红艳;赵科;张成远;于林汕;冯星斐;任军昭 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 非金属材料 表面 高纯 硫化锌 薄膜 方法 | ||
1.一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)非金属基体清洗后放入氧等离子刻蚀机中进行刻蚀；
(2)将刻蚀完成的非金属基体置于磁控溅射装置样品台，利用硫化锌靶材在非金属基体上沉积硫化锌薄膜。
2.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(1)中先将非金属基体依次用去离子水、无水乙醇超声清洗。
3.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(1)中在体积比为1～10：1的氩气和氧气混合气氛下对非金属基体进行刻蚀。
4.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(1)中非金属基体为石英玻璃、ITO玻璃、氧化物陶瓷、蓝宝石或硅片。
5.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中非金属基体在磁控溅射装置样品台上预加热至50～300℃。
6.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中非金属基体和硫化锌靶材的距离为5～8cm。
7.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中在1～5Pa的氩气条件下对非金属基体进行硫化锌薄膜沉积。
8.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中先对非金属基体进行10～30min预溅射。
9.根据权利要求1所述的非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中磁控溅射时射频功率为100～300W。
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