[发明专利]用于涡轮分子式真空泵之转子盖子

说明书

本发明涉及一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子包含覆盖组件及连结组件，其中覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面，连结组件包含一延伸杆及一硬度及重量调节组件。延伸杆之第一端系连接覆盖组件之底面中心，延伸杆之第二端系朝向远离覆盖组件之方向延伸以邻近旋转轴，硬度及重量调节组件系连接于延伸杆之该第二端与旋转轴之间，藉以降低连结组件与旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少覆盖组件之旋转振动现象。

技术领域

本发明是有关于一种盖子，特别是有关于一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子。

背景技术

目前的涡轮分子式真空泵，系可驱动连结于其上之转子以进行真空抽气之制程，转子中心朝涡轮分子式真空泵之方向内凹形成锁附空间，以藉由如螺栓等固定组件组合转子及涡轮分子式真空泵。然而，当涡轮分子式真空泵使用于晶圆或电子基板等蚀刻制程加工时，加工过程中所产生之粉尘颗粒系容易积存于锁附空间，且转子于加工过程中所产生之气流容易使锁附空间中之粉尘颗粒随着气流飘回加工区域，故可能导致加工区域之晶圆或电子基板受到污染。因此，为杜绝锁接室积存粉尘颗粒，美国专利第3908977号系揭示一种转子上方设计有封闭锁接室的转子盖子之产品，其中，转子盖子由外而内穿设有锁固于锁接室底侧之螺栓。惟，螺栓锁固区域还是有少量空间供粉尘颗粒积存，致盖子之阻接并非完美无缺，且螺栓锁固也容易过度摧逼转子盖子，令转子盖子于转子高速旋转后有变形及破裂疑虑。

发明内容

此外，在传统螺栓锁固的技术中，转子盖子高速旋转时，容易产生旋转振动现象，导致转子旋转重心偏移或失去封合效果的问题。若改以延伸自转子盖子下方之螺栓连接锁接室底侧，则转子盖子仍会产生旋转振动现象及/或产生磨损现象。有鉴于此，本发明之一目的就是在提供一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，以克服上述长期存在却无法解决之技术问题。

为达前述目的，本发明提出一种用于涡轮分子式真空泵之转子盖子，该涡轮分子式真空泵上方突设有一旋转轴，该旋转轴上套定有一转子，该转子中心下凹有一锁接室，该锁接室中心固接该旋转轴，该转子盖子包含：一覆盖组件，该覆盖组件之侧壁及顶面为光滑曲面；以及一连结组件，包含：一延伸杆及一硬度及重量调节组件，该延伸杆之一第一端系连接该覆盖组件之底面中心，该延伸杆之一第二端系朝向远离该覆盖组件之方向延伸以邻近该旋转轴，该硬度及重量调节组件系连接于该延伸杆之该第二端与该旋转轴之间，藉以降低该连结组件与该旋转轴之间的硬度差异，以及提供配重效果以减少该覆盖组件之旋转振动现象。

其中，该延伸杆之该第一端系一体连接该覆盖组件之底面中心。

其中，该延伸杆之该第一端系螺接该覆盖组件之底面中心。

其中，该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该延伸杆之该第二端系内凹形成一第二螺孔，该硬度及重量调节组件之该第一端为一第一螺栓，该硬度及重量调节组件之该第二端为一第二螺栓，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓系用以螺接该旋转轴之该第一螺孔，该硬度及重量调节组件之该第二螺栓系用以螺接该延伸杆之该第二螺孔。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓之直径大于该第二螺栓之直径，且该第一螺栓之直径对应于该旋转轴之该第一螺孔之直径，该第二螺栓之直径对应于该延伸杆之该第二螺孔之直径。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系介于1：7～7：1之间。

其中，该硬度及重量调节组件之该第一螺栓与该延伸杆具有一长度比，该长度比系为1：7。

其中，该延伸杆之该第二端以及该硬度及重量调节组件之该第一端之直径实质相同。

其中，该旋转轴之顶端系内凹形成一第一螺孔，该硬度及重量调节组件系覆盖于该延伸杆之该第二端以共同形成一第一螺栓，藉以螺接该旋转轴之该第一螺孔。