[发明专利]准分子灯、光照射装置

权利要求书

1.一种准分子灯，其特征在于，

具备：

长条状的发光管，对于紫外线具有透射性；

一对电极，在上述发光管的径向上相离而设置；以及

反射膜，形成在上述发光管的内壁面；

上述反射膜具备：

第一反射区域，与朝向光照射对象区域射出光的光射出面对置；以及

第二反射区域，与采光部对置，上述采光部被设置在与上述光射出面不同的位置。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

上述采光部，关于上述发光管的管轴方向，被形成在上述发光管的与上述光射出面侧的有效发光区域不同的位置。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

上述采光部被形成在与上述光射出面相反侧。

4.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

上述反射膜包括第一反射膜及第二反射膜，上述第一反射膜构成上述第一反射区域；上述第二反射膜构成上述第二反射区域，且形成在与上述第一反射膜相离的位置。

5.如权利要求4所述的准分子灯，其特征在于，

上述第二反射膜，关于上述发光管的管轴方向，被形成在比上述第一反射膜靠上述发光管的端部侧。

6.一种光照射装置，其特征在于，

具备：

权利要求1～5中任一项所述的准分子灯；以及

光量传感器，具有受光部，上述光量传感器检测入射到上述受光部的光；

上述光量传感器被配置为，上述受光部的可受光区域包含在上述采光部中。