[发明专利]通过有限非线性变形补偿对部件承载件结构进行对准

权利要求书

1.一种对部件承载件(110)的部件承载件结构(100)进行对准的方法，所述部件承载件(110)包括具有多个电传导层结构(114)和多个电绝缘层结构(116)的叠置件，其中，所述方法包括：

预先限定(200)在对准期间对所述部件承载件结构(100)的非线性变形进行补偿的最大允许的非线性补偿限度(108)；

对要对准的所述部件承载件结构(100)的实际非线性变形进行确定(230)；

在完全补偿所述实际非线性变形所需的非线性补偿的量超过预先限定的所述非线性补偿限度(108)的情况下，以不超过预先限定的所述非线性补偿限度(108)的程度执行(240)非线性变形补偿。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：在完全补偿所述部件承载件结构(100)的所述实际非线性变形所需的非线性补偿的量小于或等于预先限定的所述非线性补偿限度(108)的情况下，执行(250)完全非线性变形补偿。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：以基于梯形的补偿或基于具有至少五个角的多边形的补偿的方式来执行所述非线性变形补偿，特别地，以基于不规则多边形的补偿的方式来执行所述非线性变形补偿。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：在所述实际非线性变形为零的情况下，执行(260)线性变形补偿，特别地，在所述实际非线性变形为零的情况下，执行基于矩形和/或基于平行四边形的变形补偿。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：在所述部件承载件结构(100)的一个或更多个内部层(102)中执行完全非线性变形补偿，即使在所述完全非线性变形补偿超过预先限定的所述非线性补偿限度(108)时也在所述部件承载件结构(100)的一个或更多个内部层(102)中执行完全非线性变形补偿；以及，在所述部件承载件结构(100)的一个或更多个外部层(104)中执行不超过预先限定的所述非线性补偿限度(108)的非线性变形补偿。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：将对于所述部件承载件结构(100)的内部层(102)而言的最大允许的所述非线性补偿限度(108)预先限定成比对于所述部件承载件结构(100)的外部层(104)而言的另一较小的最大允许的非线性补偿限度(108)大。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：通过机器或通过使用者来对所述非线性补偿限度(108)进行预先限定(200)。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括将所述非线性补偿限度(108)预先限定为非线性变形补偿的绝对值，特别地，将所述非线性补偿限度(108)预先限定为在介于20μm与150μm之间的范围内的值。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法包括：将所述非线性补偿限度(108)预先限定为最大允许的非线性变形补偿的绝对值与实际非线性变形之间的比率。

10.根据权利要求9所述的方法，所述方法包括以下特征中的至少一者：

其中，所述比率在介于0％至100％的范围内，特别地，所述比率在介于20％与70％之间的范围内；

其中，在所述部件承载件结构(100)的内部层处的所述比率比在所述部件承载件结构(100)的外部层处的所述比率高，特别地，所述比率从所述部件承载件结构(100)的最内部层向最外部层连续地减小。