[发明专利]一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质

说明书

本发明公开了一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质，所述半导体测试装置包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。本发明提供的半导体测试装置中的站点控制模块和测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接，数据总线用于控制指令的传输，串行接口线用于测试数据的传输，从而将控制测试流程和测试数据回传流程分离，使得测试控制和测试数据传输可以异步执行，缩短了测试的时间，提高了测试效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质。

背景技术

通常，在进行半导体器件测量过程中，控制端和测试端之间要进行控制指令和测试数据的传输。然而，常用的半导体测试装置的数据传输结构单一，使得其控制指令和测试数据无法异步执行。由此使得半导体器件的测试效率很低。

发明内容

本发明实施例期望提供一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质。

本发明的技术方案是这样实现的：

本发明实施例第一方面提供一种半导体测试装置，所述装置包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块和所述测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；

所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；

所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。

可选地，每个所述测试模块包括一老化板和至少一个最终测试板；

在每个所述测试模块中：所述最终测试板用于接收所述站点控制模块发送的所述控制指令，并基于所述控制指令控制所述老化板进行老化测试；所述老化板用于对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据发送至所述最终测试板；所述最终测试板还用于将所述测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。

可选地，所述站点控制模块包括多路串行接口线，所述多路串行接口线中的每一路串行接口线均与一最终测试板连接。

可选地，每个所述测试模块还包括NAND闪存接口单元；在每个所述测试模块中，所述老化板和所述最终测试板之间通过所述NAND闪存接口单元进行数据传输。

可选地，所述站点控制模块包括FPGA芯片，所述FPGA芯片用于提供多个串行接口，所述多个串行接口中的每个串行接口均与串行接口线连接。

可选地，所述站点控制模块包括ARM处理器，所述ARM处理器用以生成控制老化测试的控制指令。

本发明实施例第二方面提供一种数据处理方法，应用于测试端，所述方法包括：

通过数据总线接收控制端发送的控制指令；

基于所述控制指令，对半导体器件进行老化测试；

获取测试数据，并将所述测试数据通过串行接口线发送至所述控制端。

可选地，所述测试数据发送至所述控制端所需的时间不超过单次老化测试所需的时间。

本发明实施例第三方面提供一种数据处理方法，应用于控制端，所述方法包括：

通过数据总线向控制端发送控制指令；

通过串行接口线接收测试端发送的测试数据。

可选地，控制端接收所述测试数据所需的时间不超过所述控制指令的发送时间间隔。