[发明专利]用于光纤与光芯片角度对准的测试结构及耦合系统

权利要求书

1.一种用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：包括衬底，所述衬底上制作有测试用光耦合结构以及光返回结构，所述测试用光耦合结构用于与待对准的光纤耦合，将待对准的光纤输出的光传输至光返回结构，所述光返回结构用于将测试用光耦合结构传输的光返回给待对准的光纤。

2.如权利要求1所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述衬底为光芯片的衬底，即测试结构设置在光芯片的衬底上，测试结构的测试用光耦合结构与光芯片的耦合结构平行，使光纤与所述测试结构对准后，光纤与光芯片的耦合结构的角度对准。

3.如权利要求1所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述衬底为晶圆硅衬底。

4.如权利要求1所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述测试用光耦合结构用于将待对准的光纤输出的光直接或通过波导结构传输至光返回结构； 测试用光耦合结构与光返回结构直接或通过波导结构相连。

5.如权利要求4所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述衬底上设有多个测试用光耦合结构,波导结构和多个光返回结构，多个测试用光耦合结构平行间隔设置，多个测试用光耦合结构与多个光返回结构一一对应相连，形成阵列结构，用于耦合阵列光纤。

6.如权利要求1所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述测试用光耦合结构采用模斑转换器或光栅耦合结构。

7.如权利要求1所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述光返回结构采用反射结构或环路结构。

8.如权利要求7所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述光返回结构采用反射光栅或微环反射结构。

9.如权利要求8所述的用于光纤与光芯片角度对准的测试结构，其特征在于：所述反射光栅采用布拉格反射光栅。

10.一种用于光纤与光芯片角度对准的耦合系统，其特征在于：包括光功率计、位移平台以及如权利要求1至9任一所述的测试结构，待对准的光纤的一端与测试结构的测试用光耦合结构耦合，待对准的光纤的另一端通过分束器与光源、光功率计连接，通过光功率计监测由测试结构返回光纤的光功率，所述位移平台与光功率计连接，位移平台用于根据光功率计监测的光功率调整待对准的光纤与光芯片的耦合位置与角度。