[发明专利]一种钽靶材和不锈钢背板的钎焊方法在审
| 申请号： | 202110328317.8 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112935448A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯新印;华东瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/08 | 分类号： | B23K1/08;B23K1/20;B23K3/06;B23K3/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 不锈钢 背板 钎焊 方法 | ||
1.一种钽靶材和不锈钢背板的钎焊方法，其特征在于，所述钎焊方法包括以下步骤：
(1)分别独立地对所述钽靶材的焊接面以及所述不锈钢背板的焊接面进行喷砂处理得到喷砂表面；
(2)分别独立地对所述钽靶材的喷砂表面以及所述不锈钢背板的喷砂表面进行镀镍处理得到镀镍层；
(3)分别独立地对镀镍后的所述钽靶材以及所述不锈钢背板进行加热，并将钎焊料分别独立地放置于所述钽靶材的表面以及所述不锈钢的表面，所述钎焊料受热融化后浸润所述钽靶材以及所述不锈钢的表面；
(4)在所述不锈钢背板上放置铜丝，将所述钽靶材与所述不锈钢背板扣合，并放置压块，冷却后完成钎焊。
2.根据权利要求1所述的钎焊方法，其特征在于，所述喷砂表面的粗糙度为Ra 4～8mm。
3.根据权利要求1或2所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(2)所述镀镍层的厚度为5～15μm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(3)所述加热的温度为200～230℃。
5.根据权利要求1-4任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(3)所述钎焊料包括铟焊料。
6.根据权利要求1-5任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(3)所述浸润的时间为15～45min。
7.根据权利要求1-6任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(3)所述浸润为超声波浸润。
8.根据权利要求1-7任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(4)所述铜丝的直径为0.3～0.5mm。
9.根据权利要求1-8任一项所述的钎焊方法，其特征在于，步骤(4)所述压块的质量为10～40kg。
10.根据权利要求1-9任一项所述的钎焊方法，其特征在于，所述钎焊方法包括以下步骤：
(1)分别独立地对所述钽靶材的焊接面以及所述不锈钢背板的焊接面进行喷砂处理得到喷砂表面，所述喷砂表面的粗糙度为Ra 4～8mm；
(2)分别独立地对所述钽靶材的喷砂表面以及所述不锈钢背板的喷砂表面进行镀镍处理得到镀镍层，所述镀镍层的厚度为5～15μm；
(3)分别独立地对镀镍后的所述钽靶材以及所述不锈钢背板进行加热，加热的温度为200～230℃，并将铟焊料分别独立地放置于所述钽靶材的表面以及所述不锈钢的表面，所述铟焊料受热融化后对所述钽靶材以及所述不锈钢的表面超声波浸润15～45min；
(4)在所述不锈钢背板上放置直径为0.3～0.5mm的铜丝，将所述钽靶材与所述不锈钢背板扣合，并放置10～40kg重的压块，冷却后完成钎焊。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110328317.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
