[发明专利]一种干法刻蚀机及其使用方法

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1.一种干法刻蚀机，其特征在于，包括：密封通道（1），所述密封通道（1）顶部的右侧贯穿设置有连续供料装置（2），所述密封通道（1）的左侧设置有表面清洗设备（3），所述密封通道（1）的传送带顶部等距离固定连接有传送装置（4），所述传送装置（4）的顶部等距离固定连接有放置机构（5），所述传送装置（4）内壁的前后两侧均等距离固定连接有传送轴（6），所述传送轴（6）与所述传送装置（4）的底部搭接，所述密封通道（1）顶部开设有方形口，所述方形口内套设有射频装置（9），所述射频装置（9）内壁的前侧固定连接有制程气体装置（8），制程气体装置（8）底部设置有基板（7）；所述密封通道（1）包括中空方形套（11），所述中空方形套（11）顶部右侧固定连接有安装板（15），所述安装板（15）的顶部开设有下落口，所述下落口内壁的左右两侧均开设有活动槽（17）和U形槽一（16），所述活动槽（17）和U形槽一（16）内腔连通，所述活动槽（17）通过回位弹簧（12）弹性连接有活动杆（18），所述活动杆（18）的外侧固定连接有L形杆（13），所述活动杆（18）的内侧固定连接有限位块（14）；所述传送装置（4）包括板式传送带（41），所述板式传送带（41）的前后两侧均固定连接有齿条（42），所述板式传送带（41）顶部前侧设置有联动条（43）；所述连续供料装置（2）包括放置箱（21），所述放置箱（21）内壁前侧设置U形槽二（22），所述U形槽二（22）横向槽内壁的前侧固定连接有两个合板（23），两个所述合板（23）的相对一侧通过限位板（24）固定连接，所述限位板（24）的一侧穿插有滑杆（25），所述滑杆（25）的一端固定连接有连接架（27），所述滑杆（25）的另一端固定连接有导位块（26），所述连接架（27）与所述限位板（24）的相对一侧均固定连接有两个压缩弹簧（210），两个所述压缩弹簧（210）的相对一侧通过弹性片（28）固定连接，所述弹性片（28）内壁的两侧均通过挤压弹簧（29）固定连接，所述连接架（27）的一侧通过连接块（211）固定连接有U形块（212），所述U形块（212）内壁上下两侧开设的滑槽（217）内活动连接有一个轴杆（218），所述轴杆（218）上套接有滚轴（219），所述U形块（212）的一侧穿插有U形架（220），所述U形架（220）位于所述U形块（212）的一端固定连接有弧形块（221），所述弧形块（221）通过调节弹簧（222）与所述U形块（212）内壁的一侧固定连接，所述放置箱（21）中部设置有放料腔（215），所述放料腔（215）内腔的左右两侧均通过铰杆（214）铰接有卡紧条（213），所述卡紧条（213）位于所述滚轴（219）的一侧固定连接有橡胶板（216），位于最下方的滚轴（219）与所述橡胶板（216）的一侧搭接，其他所述滚轴（219）与所述橡胶板（216）预留间距，所述放置箱（21）内且位于所述U形槽二（22）内壁的底部穿插有竖杆（223），所述竖杆（223）上套设有多个椭圆块（224），所述竖杆（223）底部开设有斜槽（225），最下方所述椭圆块（224）的两侧位于两个L形杆（13）的下方，且L形杆（13）位于所述椭圆块（224）处开设有与所述椭圆块（224）两端适配的弧形槽，位于所述L形杆（13）上的椭圆块（224）位于两个导位块（26）的下方并相互接触，其他所述导位块（26）的一侧与所述椭圆块（224）内凸起处接触；所述表面清洗设备（3）包括设备箱体（31），所述设备箱体（31）内壁的顶部通过伸缩带（32）固定连接有两个清洗头（311），所述设备箱体（31）内壁的顶部固定连接有抽真空装置（33），两个所述清洗头（311）的顶部均固定连接有四个弹性杆，八个前后侧的弹性杆上均固定连接有横板（34），所述横板（34）底部的中部固定连接有往复式丝杆，所述往复式丝杆上套设有限位套（37），所述中空方形套（11）内壁的前后两侧均设置有齿轮（36），所述齿条（42）与齿轮（36）啮合，所述齿轮（36）上套设有滚珠套，所述往复式丝杆套设在滚珠套内，所述清洗头（311）底部内腔通过两个微调弹簧（39）弹性连接有微调块（38），所述微调块（38）的底部内嵌有伺服电机（310），所述伺服电机（310）的底端套设有固定盘（312），所述固定盘（312）的底部搭接有清洗板（313），所述清洗板（313）与所述伺服电机（310）的输出端固定连接，所述清洗板（313）的底部开设有多个滑动槽，所述滑动槽内壁开设有圆孔，所述滑动槽内壁的顶部贯穿有顶杆（318），所述顶杆（318）的顶部固定连接有通气斜板（316），所述固定盘（312）的底部等距离开设有多个弧形斜槽（320），所述顶杆（318）底部固定连接有闭合板（315），所述闭合板（315）与所述清洗板（313）底部均设置有海绵，所述通气斜板（316）通过顶出弹簧（317）与所述清洗板（313）的卡槽（319）内壁底部弹性连接，所述弧形斜槽（320）内设置有抽吸孔（314）所述清洗头（311）的四周还设置有纠偏杆（35），所述抽吸孔（314）与抽真空装置（33）通过软管连通；所述放置机构（5）包括安装盘（51），所述安装盘（51）的顶部套接有敞口喇叭环（52），所述敞口喇叭环（52）的表面等距离开设有多个弧形转槽（53），所述弧形转槽（53）内活动连接有弧形传送轴（54），弧形传送轴（54）表面设置有软硅胶，所述弧形传送轴（54）的外端套设有传动齿轮（55），所述安装盘（51）内转动连接有锥形齿盘（56），所述锥形齿盘（56）位于所述传动齿轮（55）的正下方，所述锥形齿盘（56）与多个传动齿轮（55）啮合，所述安装盘（51）右侧通过载板（58）固定连接有驱动电机（59），所述驱动电机（59）的输出端固定连接有驱动轮（510），所述驱动轮（510）通过传送带（511）与所述锥形齿盘（56）侧壁开设的皮带槽（57）传动连接，所述安装盘（51）内壁的底部固定连接有环形套（512），所述环形套（512）内套接有放置平台（513），所述环形套（512）的内腔等距离设置有三个弹性条（514），所述弹性条（514）上开设有限位滑口（516），所述限位滑口（516）内穿插有定位杆（515），所述定位杆（515）固定连接在所述环形套（512）内壁的底部，所述环形套（512）内壁通过两个回压弹簧（518）固定连接有弧形条（517），所述弧形条（517）固定连接在所述弹性条（514）上，所述弹性条（514）的一端贯穿所述环形套（512）外侧开设的卡槽且延伸至其外部，所述弹性条（514）的一端开设有嵌入槽（523），所述安装盘（51）底部固定连接有抽气泵（521），所述抽气泵（521）设置有中心孔（522），所述环形套（512）内壁等距离镶嵌有抽吸口一（520），所述放置平台（513）的顶部等距离设置有抽吸口二（519），所述抽气泵（521）通过多个连接气管与所述抽吸口二（519）和抽吸口一（520）连通；其中，抽吸口二（519）包括吸附管（5191），所述吸附管（5191）的底部连通有弧形管（5192），所述弧形管（5192）通过连接管（5198）与连接气管连通，所述弧形管（5192）顶部另一侧连通有抽吸口一（520），所述弧形管（5192）内腔位于所述抽吸口一（520）处套设有密封环（5196），所述吸附管（5191）内腔套设有花型板（5193），所述花型板（5193）的顶部固定连接有下压杆（5194），所述花型板（5193）的底部固定连接有软杆（5197），所述软杆（5197）的一端延伸至抽吸口一（520）内并与密封塞（5195）固定连接。