[发明专利]一种阵列式压电隔膜泵

权利要求书

1.一种阵列式压电隔膜泵，包括压电驱动器（1）和两只以上的隔膜泵（2），其特征在于：

所述压电驱动器（1）包括工字型本体（3），工字型本体（3）的顶板为上驱动臂（6）、底板为下驱动臂（5）、中部为直立板（7）；直立板（7）两侧的上驱动臂（6）分别为第一驱动臂（61）和第二驱动臂（62），第一驱动臂（61）的外端和第二驱动臂（62）的外端分别连接着质量块（9）；直立板（7）两侧的下驱动臂（5）分别为第三驱动臂（51）和第四驱动臂（52），第三驱动臂（51）的外端和第四驱动臂（52）的外端分别连接着质量块（9）；每只驱动臂的根部上下侧面上分别设有压电片（4），构成压电双晶片结构；直立板（7）的两侧面上分别设有压电片（4），构成压电双晶片结构；所有压电片（4）通过导线（10）串联或并联连接；

所述两只以上的隔膜泵（2）为两对隔膜泵或两只隔膜泵；所述两对隔膜泵分别固定设于直立板（7）两侧的工字型本体（3）内；所述两只隔膜泵分别固定设于直立板（7）两侧的工字型本体（3）内；

当交流电源的激励频率为所述压电驱动器（1）的一阶反相弯曲谐振频率时，所述压电驱动器（1）驱动两对隔膜泵或两只隔膜泵以同一谐振频率连续泵送流体。

2.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述工字型本体（3）的材料为金属，除压电片（4）外的其余表面涂覆有绝缘漆。

3.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述上驱动臂（6）和下驱动臂（5）结构相同，上驱动臂（6）的宽度为5～200mm、厚度为0.5～5mm、长度为20～200mm；所述直立板（7）的厚度为0.5～5mm、长度为10～50mm；所述质量块（9）的长度为1～25mm、高度为1～20mm。

4.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述压电片（4）材料为压电陶瓷或压电单晶；压电片（4）的厚度为0.01～1mm、宽度与上驱动臂（6）的宽度相同、长度为1～50mm。

5.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：每对隔膜泵呈重叠状，且背靠背固定设于直立板（7）两侧的工字型本体（3）内。

6.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述工字型本体（3）的第一驱动臂（61）和第三驱动臂（51）上分别开设有上下对应的一对腰形孔（8）、第二驱动臂（62）和第四驱动臂（52）上分别开设有上下对应的一对腰形孔（8），用于调整两对隔膜泵在驱动臂上的位置，实现调整机械阻抗匹配特性，进而实现调节所述阵列式压电隔膜泵的输出特性。

7.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述两对隔膜泵中的每对隔膜泵并联连接或串联连接。

8.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述直立板（7）上设有第一压电片（41）和第二压电片（42），构成第一压电双晶片（401）；

所述第一驱动臂（61）设有第四压电片（44）和第三压电片（43），构成第二压电双晶片（402）；

所述第二驱动臂（62）上设有第五压电片（45）和第六压电片（46），构成第三压电双晶片（403）；

所述第三驱动臂（51）上设有第七压电片（47）和第八压电片（48），构成第四压电双晶片（404）；

所述第四驱动臂（52）上设有第十压电片（40）和第九压电片（49），构成第五压电双晶片（405）。

9.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述第一驱动臂（61）外端的质量块（9）和第二驱动臂（62）外端的质量块（9）均连接着外端的下部；所述第三驱动臂（51）外端的质量块（9）和第四驱动臂（52）外端的质量块（9）均连接着外端的上部。

10.根据权利要求1所述的一种阵列式压电隔膜泵，其特征在于：所述隔膜泵（2）为层叠式隔膜泵。